Member:Matsuoka
京大推進研
松岡健二（Kenji Matsuoka）
二次元の粒子モデル (PIC/MC: particle-in-cell/Monte Carlo) を用いて、プラズマ気相中およびプラズマ中から基板へと入射する粒子に関して解析を行っています。
- 学年 ：修士課程2年
- 所属学会 ：応用物理学会
- メール ：m.kenji(at)ft7.ecs.kyoto-u.ac.jp （(at) は半角@に置き換えてください）
International conference presentations 国際学会発表
- Kenji Matsuoka, Yoshinori Takao, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono: "Particle-in-cell/Monte Carlo simulation of capacitively coupled chlorine plasmas", 64th Gaseous Electronics Conference, November 15–18, 2011, Salt Palace Convention Center, Salt Lake City, Utah, USA, TF2-3, Bull. Am. Phys. Soc. 56(15) (2011) p. 94.
- Kenji Matsuoka, Yoshinori Takao, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono: "Numerical Simulation of Capacitively Coupled Chlorine Plasma Using Two-dimensional Particle-in-cell/Monte Carlo Method", 33rd International Symposium on Dry Process (DPS 2011), November 10-11, 2011, Kyoto Garden Palace Hotel, Kyoto, Japan, P1-13, Proc. 33rd Int. Symp. Dry Process, p. 47.
Domestic conference presentations 国内学会発表
- 松岡健二，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一：「二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン入射エネルギー分布」，2011年度秋季 第72回 応用物理学関係連合講演会，2011/08/29-09/02, 山形大学小白川キャンパス. 29a-ZN-1.
- 松岡健二，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一：「二次元PIC/MCによる二周波重畳容量結合型プラズマの数値シミュレーション」，2011年度春季 第58回 応用物理学関係連合講演会，2011/03/24-27, 神奈川工科大学, (講演会中止).
