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京大推進研

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Presentation.png 国内会議発表一覧(過去9年間)

目次

2018

  • 久山智弘(M),吉川侑汰, 佐藤好弘, 占部継一郎, 江利口浩二:「プラズマ曝露によりシリコン窒化膜中に形成された欠陥構造の窒素雰囲気アニールに関する検討」, 第79回応用物理学会秋季学術講演会, 2018年9月18日~21日, 名古屋国際会議場, 20p-438-13.

2017

  • [招待講演] 野間正男, 山下満, 江利口浩二, 長谷川繁彦:「反応性プラズマ支援コーティング(RePAC/MEP-IP)法による高機能窒化ホウ素薄膜の形成(2Cp11)」, 2017年真空・表面科学合同講演会,2017年8月18日,横浜市立大学金沢八景キャンパス.

2016

  • 中崎暢也(D), 福島大介, 宮田浩貴, 津田博隆, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「フーリエ変換赤外吸収分光法を用いたプラズマエッチングにおける基板表面温度測定」, 第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016年3月19日~22日, 東京工業大学大岡山キャンパス, 19p-W621-3.
  • 西田健太郎(M), 岡田行正, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「層間絶縁膜へのプラズマダメージの電気的解析手法」, 第63回応用物理学会春季学術講演会, 2016年3月19日~22日, 東京工業大学大岡山キャンパス, 19p-W621-4.
  • [招待講演] 江利口浩二,斧高一:「プラズマプロセス誘起ダメージによるデバイス特性劣化の包括的モデル」, 第191回応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究会, 2016年2月27日,宝塚大学梅田キャンパス.
  • [招待講演] 中崎暢也(D), 松本悠, 園部蒼馬, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「シースコントロールプレートを用いたプラズマエッチングにおけるイオン斜入射によるリップル形成」, 第189回応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究会(主催:応用物理学会シリコンテクノロジー分科会),2016年2月19日,東京大学本郷キャンパス.

2015

  • 竹下知寛(M), 山田郁美, 平野 裕太郎、西村 顕吉、江利口浩二, 斧高一: 「プラズマスパッタリングを用いたSi・SiO2基板上におけるシリコンナノワイヤ形成」, 第25回日本MRS年次大会(日本MRS学術シンポジウム), 2015年12月8日~10日, 横浜市開港記念会館, C5-010 003.
  • 竹下知寛(M), 山田郁美, 江利口浩二, 斧高一:「プラズマスパッタリングによるシリコンナノワイヤ成長過程」, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年9月13日~16日, 名古屋国際会議場, 15p-2Q-15.
  • 上野佳祐(M), 森大輔, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「PIC/MCC法によるマイクロECRプラズマスラスタの数値解析(Ⅱ)」, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年9月13日~16日, 名古屋国際会議場, 15p-2V-13.
  • [招待講演] 中崎暢也(D), 鷹尾祥典, 江利口浩二1, 斧高一:「Molecular dynamics simulations of silicon chloride ion incidence during Si etching in Cl-based plasmas」, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年9月13日~16日, 名古屋国際会議場, 15a-2Q-7 (論文奨励賞受賞記念講演).
  • 長谷川繁彦, 野間正男, 山下満, 江利口浩二:「反応性プラズマ支援成膜法により形成したBN膜の構造と化学結合状態分析」, 第76回応用物理学会秋季学術講演会, 2015年9月13日~16日, 名古屋国際会議場, 15a-1D-2.
  • 上野佳祐(M), 森大輔, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「PIC/MCC法によるマイクロECRプラズマスラスタの数値解析」, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年3月11日~14日, 東海大学湘南キャンパス, 14p-A28-8.
  • 岩井隆晃, 江利口浩二, 山内祥平, 野呂尚孝, 北川淳一, 斧 髙一:「マイクロ波加熱によるシリコン表面近傍のプラズマ誘起欠陥修復」, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年3月11日~14日, 東海大学湘南キャンパス, 14p-A27-12.
  • 池田太郎, 江利口浩二, 谷原聡, 山本伸彦, 河西繁, 斧髙一:「Cu配線Layoutに依存した新たなLow-kプラズマダメージモデル」, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年3月11日~14日, 東海大学湘南キャンパス, 14p-A27-11.
  • 岡田行正(B), 江利口浩二, 斧 高一:「光学定数を用いたプラズマ誘起Si基板ダメージの面方位依存性」, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年3月11日~14日, 東海大学湘南キャンパス, 14p-A27-10.
  • 江利口浩二, 深沢正永, 長畑和典, 辰巳哲也, 斧高一:「1/C2法によるH2およびHeプラズマ誘起ダメージ層構造の解析」, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年3月11日~14日, 東海大学湘南キャンパス, 14p-A27-9.
  • 松本悠(M), 中崎暢也, 初瀬巧, 江利口浩二, 斧高一:「Cl­2プラズマSiエッチングにおける表面ラフネスの解析: 初期表面ラフネスの影響」, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年3月11日~14日, 東海大学湘南キャンパス, 14p-A27-8.
  • 中崎暢也(D), 園部蒼馬, 初瀬巧, 松本悠, 江利口浩二, 斧高一:「シースコントロールプレートを用いた基板表面へのイオン斜入射とリップル形成」, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年3月11日~14日, 東海大学湘南キャンパス, 14p-A27-7.
  • 野間正男, 山下満, 江利口浩二, 長谷川繁彦:「反応性プラズマ支援成膜法により形成したBN 膜の粘弾性と密着性」, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年3月11日~14日, 東海大学湘南キャンパス, 12p-P16-19.
  • [招待講演] 江利口浩二, 斧高一:「3次元構造デバイスにおけるプラズマダメージ層形成モデル」, 第62回応用物理学会春季学術講演会, 2015年3月11日~14日, 東海大学湘南キャンパス, 11p-B5-2.
  • [招待講演] 中崎暢也(D), 初瀬巧, 松本悠, 津田博隆, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「Cl2プラズマSiエッチングにおける表面ラフネスの解析」, 第178回応用物理学会シリコンテクノロジー分科会研究会(主催:応用物理学会シリコンテクノロジー分科会),2015年2月13日,東京大学本郷キャンパス.

2014

  • 初瀬巧(M), 園部蒼馬, 中崎暢也, 江利口浩二, 斧高一:「3次元原子スケールセルモデルによるプラズマエッチングにおける表面ラフネス形成機構の解明」, 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年9月17日~20日, 北海道大学札幌キャンパス, 19p-S10-17.
  • 園部蒼馬(M), 中崎暢也, 初瀬巧, 江利口浩二, 斧高一:「プラズマエッチングにおける基板表面へのイオン入射軌跡の解析」, 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年9月17日~20日, 北海道大学札幌キャンパス, 19p-S10-16.
  • 中崎暢也(D), 松本悠, 江利口浩二, 斧高一:「誘導結合Cl2プラズマSiエッチングにおける表面ラフネスの解析:パルスバイアスエッチングの効果」, 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年9月17日~20日, 北海道大学札幌キャンパス, 19p-S10-6.
  • 山田郁美(M), 江利口浩二, 斧高一:「プラズマスパッタリングを用いたシリコンナノワイヤ形成」, 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年9月17日~20日, 北海道大学札幌キャンパス, 19p-S8-15.
  • 小畠拓也(M), 出口正則, 鈴木惇也, 江利口浩二, 斧高一:「誘電体バリア放電プラズマアクチュエータにおける誘起流れの光学的診断と解析」, 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年9月17日~20日, 北海道大学札幌キャンパス, 19p-S8-1.
  • 斧高一:「プラズマエッチングにおける表面形状進展」, 第75回応用物理学会秋季学術講演会, 2014年9月17日~20日, 北海道大学札幌キャンパス, 18p-S1-4.
  • 亀井政幸, 江利口浩二, 鷹尾祥典, 斧高一:「プラズマチャージングダメージによるMOSFETランダムテレグラフノイズ(RTN)特性の変動」, 第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年3月17日~20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19a-F6-2.
  • 江利口浩二, 深沢正永, 鷹尾祥典, 辰巳哲也, 斧高一:「プラズマ誘起Si基板ダメージの熱処理回復過程の検討(1)」, 第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年3月17日~20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19p-F6-9.
  • 中崎暢也(D), 松本悠, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「誘導結合Cl2プラズマSiエッチングにおける表面ラフネスの解析」, 第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年3月17日~20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19a-F6-4.
  • 中崎暢也(D), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「分子動力学法による塩素系プラズマSiエッチングの表面反応解析:エッチング副生成物イオンの斜め入射」, 第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年3月17日~20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 19a-F6-2.
  • 小畠拓也(B), 鈴木惇也, 出口雅則, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「誘電体バリア放電プラズマアクチュエーターにおける誘起流れの解析」, 第61回応用物理学会春季学術講演会, 2014年3月17日~20日, 青山学院大学相模原キャンパス, 17p-F3-4.
  • [招待講演] 江利口浩二:「Fin型トランジスタ加工におけるプラズマ誘起Si基板ダメージ形成モデル」 第168回研究会(主催:応用物理学会シリコンテクノロジー分科会),2014年2月14日,東京大学本郷キャンパス.
  • 山田郁美(M),鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「超小型高周波イオン推進機のプローブ診断とイオンビーム電流測定」, 平成25年度宇宙輸送シンポジウム, 2014年1月16日~17日, JAXA宇宙科学研究所, STEP-2013-083.

2013

  • 山田郁美(M), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「超小型高周波イオンスラスタを対象としたイオン源のプローブ測定」, 第50回日本航空宇宙学会 関西・中部支部合同秋季大会, 2013年10月25日, 大阪大学吹田キャンパス.
  • 間友貴(M), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「表面波励起プラズマの無電極電気推進機への応用」, 第57回宇宙科学技術連合講演会, 2013年10月9日~11日, 米子コンベンションセンター ビッグシップ, P01.
  • 中崎暢也(D), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「Molecular dynamics simulation of etch by-product ion incidence during Si etching in Cl-based plasmas」, 第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26), 2013年9月23日~24日, 九州大学医学部 百年講堂, 24a-A-2.
  • 鈴木惇也(M), 出口雅則, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「Optical and Electrical Characterization of DBD Plasma Actuators in Air Driven by Asymmetric Bipolar Voltage Pulses」, 第26回プラズマ材料科学シンポジウム(SPSM26), 2013年9月23日~24日, 九州大学医学部 百年講堂, P-41.
  • 中崎暢也(D), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「分子動力学法を用いた塩素系プラズマによるSiエッチング表面反応解析:エッチング副生成物イオン入射の効果」, 第74回応用物理学会秋季学術講演会, 2013年9月16日~20日, 同志社大学京田辺キャンパス, 18a-C2-7.
  • 鈴木惇也(M), 出口雅則, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「誘電体バリア放電プラズマアクチュエーターにおける誘起流れ」, 第74回応用物理学会秋季学術講演会, 2013年9月16日~20日, 同志社大学京田辺キャンパス, 17p-P2-2.
  • 森大輔(M), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「ECRプラズマを用いたマイクロプラズマスラスタ―」, 応用物理学会関西支部 平成25年度第1回講演会, 2013年6月13日, 京都大学桂キャンパス, P-29.
  • 間友貴(M), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「表面波励起プラズマを用いた大型無電極電気推進機」, 応用物理学会関西支部 平成25年度第1回講演会, 2013年6月13日, 京都大学桂キャンパス, P-28.
  • 鈴木惇也(M), 出口雅則, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「誘電体バリア放電プラズマアクチュエータ―における誘起流れ」, 応用物理学会関西支部 平成25年度第1回講演会, 2013年6月13日, 京都大学桂キャンパス, P-27.
  • 平野裕太郎(M), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「プラズマスパッタリングによるシリコンナノワイヤ形成機構」, 応用物理学会関西支部 平成25年度第1回講演会, 2013年6月13日, 京都大学桂キャンパス, P-15.
  • 中崎暢也(D), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「プラズマエッチングにおけるナノスケール表面ラフネスとリップル構造」, 応用物理学会関西支部 平成25年度第1回講演会, 2013年6月13日, 京都大学桂キャンパス, P-14.
  • [招待講演] 中崎暢也(M), 津田博隆, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「分子動力学法を用いたHBrプラズマによるSiエッチング表面反応解析」, 2013年春季 第60回 応用物理学会学術講演会, 2013年3月27日~30日, 神奈川工科大学, 27p-A3-9, (2012年春季 第33回 応用物理学会講演奨励賞受賞記念講演).
  • 鈴木惇也(M), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「 誘電体バリア放電プラズマアクチュエーターにおける誘起流れの解析」, 2013年春季 第60回 応用物理学会学術講演会, 2013年3月27日~30日, 神奈川工科大学, 27p-B6-5.
  • 福島大介(M), 津田博隆, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「フーリエ変換赤外吸収分光法を用いたCl2 プラズマによるSi エッチングの反応解析」, 第30回プラズマプロセシング研究会(SPP-30), 2013年1月21日~23日, アクトシティ浜松・研修交流センター, A6-04.
  • 森大輔(M), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「X バンドマイクロ波励起マイクロプラズマスラスタ」, 第30回プラズマプロセシング研究会(SPP-30), 2013年1月21日~23日, アクトシティ浜松・研修交流センター, P1-20.
  • 鈴木惇也(M), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「誘電体バリア放電プラズマアクチュエーターにおける誘起流れ」, 第30回プラズマプロセシング研究会(SPP-30), 2013年1月21日~23日, アクトシティ浜松・研修交流センター, P1-19.
  • 中崎暢也(M), 津田博隆, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「分子動力学法によるSi/Cl,Si/Br プラズマエッチングの解析: 表面反応層内の原子分布と結合状態」, 第30回プラズマプロセシング研究会(SPP-30), 2013年1月21日~23日, アクトシティ浜松・研修交流センター, B1-02.
  • 鷹尾祥典,阪本将隆(M),江利口浩二,斧高一:「誘導結合型プラズマを用いた超小型イオン推進機における容量結合の影響」,平成24年度宇宙輸送シンポジウム, 2013年1月17日~18日, JAXA宇宙科学研究所, STEP-2012-062.
  • 阪本将隆(M),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一:「超小型高周波イオン推進機の回路シミュレーションと実機特性評価」,平成24年度宇宙輸送シンポジウム, 2013年1月17日~18日, JAXA宇宙科学研究所, STEP-2012-061.
  • 森大輔(M),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一:「ECRプラズマを用いた電磁加速型マイクロスラスタ」,平成24年度宇宙輸送シンポジウム, 2013年1月17日~18日, JAXA宇宙科学研究所, STEP-2012-059.

2012

  • 松田朝彦(D), 中久保義則, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「温度制御型フォトリフレクタンス分光法を用いたプラズマ誘起Si基板ダメージの定量化とそのプロファイル解析」, 電子情報通信学会 シリコン材料・デバイス研究会(IEICE-SDM), 2012年10月25日~26日, 東北大学, 4.
  • 中久保義則, 松田朝彦, 深沢正永, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 辰巳哲也, 斧高一:「Hを含むプラズマによるSi基板ダメージ構造とその回復プロセスについての検討」, 2012年秋季 第73回 応用物理学会学術講演会, 2012年9月11日~14日, 愛媛大学, 12a-E1-10.
  • 三枝琢己(D), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「表面状態の違いによるシリコンナノワイヤ中の熱輸送現象への影響」, 2012年秋季 第73回 応用物理学会学術講演会, 2012年9月11日~14日, 愛媛大学, 14a-F7-3.
  • 鷹尾祥典, 松岡健二, 江利口浩二, 斧高一:「2次元PIC/MCC法による容量結合型アルゴン・塩素プラズマの数値解析」, 2012年秋季 第73回 応用物理学会学術講演会, 2012年9月11日~14日, 愛媛大学, 11p-E1-13.
  • [招待講演] 津田博隆(D), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「3次元原子スケールセルモデルによる表面ラフネス形成機構の解明:酸素添加依存性 II. -イオン斜め入射時のリップル形成メカニズム-」, 2012年秋季 第73回 応用物理学会学術講演会, 2012年9月11日~14日, 愛媛大学, 13a-E3-7, (2012年春季 第32回 応用物理学会講演奨励賞受賞記念講演).
  • 中崎暢也(M), 津田博隆, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「分子動力学法によるSi/Cl, Si/Brビームエッチング表面反応解析: イオン入射エネルギー・角度と中性ラジカルフラックス比依存性」, 2012年秋季 第73回 応用物理学会学術講演会, 2012年9月11日~14日, 愛媛大学, 13a-E3-11.
  • 森大輔(M), 川那辺哲雄, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一:「マイクロ波励起プラズマを用いた電熱加速型および電子サイクロトロン共鳴電磁加速型マイクロスラスタ」, 2012年秋季 第73回 応用物理学会学術講演会, 2012年9月11日~14日, 愛媛大学, 11p-E1-11.
  • 三枝琢己(D),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一 : 「分子動力学シミュレーションを用いた酸化膜付きシリコンナノワイヤ中のフォノン解析」, 第59回 応用物理学関係連合講演会, 2012年3月15日~18日, 早稲田大学, 16p-A5-10.
  • 中崎暢也(M),津田博隆,鷹尾祥典,江利口浩二,斧 高一 : 「分子動力学法を用いたSi/Clビームエッチング表面反応解析:イオン入射角度依存性と中性ラジカルフラックス依存性」第59回 応用物理学関係連合講演会, 2012年3月15日~18日, 早稲田大学, 17p-A7-15.
  • 津田博隆(D),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一 : 「3次元原子スケールセルモデルによる表面ラフネス形成機構の解明:酸素添加依存性」第59回 応用物理学関係連合講演会, 2012年3月15日~18日, 早稲田大学, 17p-A7-18.
  • 川那辺哲雄(M),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一:「外部磁場印加型マイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの放電開始および電磁加速機構に関する検討」,平成23年度宇宙輸送シンポジウム, 2012年1月19日~20日, JAXA宇宙科学研究所, STEP-2011-024.

2011

  • 川那辺哲雄(M),高橋岳志,鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「ヘリウムを推進剤とした外部磁場印加型マイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの推進性能評価」, 第55回宇宙科学技術連合講演会, 2011年11月30日~12月2日, 愛媛県県民文化会館(ひめぎんホール), 2L04.
  • [招待講演] 江利口浩二:"プラズマ誘起ダメージ" Plasma Conference 2011 (主催:応用物理学会,プラズマ・核融合学会,日本物理学会),2011年11月24日,金沢(石川県立音楽堂).
  • 佐藤聖太(M),仲村恵右,鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「BCl3混合プラズマの気相診断とモデリング」, プラズマ・核融合学会第28回年会/応用物理学会第29回プラズマプロセシング研究会/日本物理学会(領域2)2011年秋季大会 / Plasma Conference 2011 (PLASMA2011), 2011年11月22日~25日, 石川県立音楽堂, 23G11.
  • 中崎暢也(M),津田博隆,鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「分子動力学法を用いたSiエッチング表面反応解析: 中性ラジカル付加とイオンビーム入射角度依存性」, プラズマ・核融合学会第28回年会/応用物理学会第29回プラズマプロセシング研究会/日本物理学会(領域2)2011年秋季大会 / Plasma Conference 2011 (PLASMA2011), 2011年11月22日~25日, 石川県立音楽堂, 22B01.
  • 津田博隆(D),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「プラズマエッチング時における表面ラフネス形成メカニズムとイオン入射角度依存性」, プラズマ・核融合学会第28回年会/応用物理学会第29回プラズマプロセシング研究会/日本物理学会(領域2)2011年秋季大会 / Plasma Conference 2011 (PLASMA2011), 2011年11月22日~25日, 石川県立音楽堂, 23P007-O.
  • [招待講演] 津田博隆(D), 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一: 「エッチング加工形状進展と表面ラフネスのモデリング・シミュレーション」, 第8回 プラズマ新領域研究会「プラズマプロセスと先端数値解析」, 2011年10月26日, 慶應義塾大学日吉キャンパス 来往舎.
  • [招待講演] 江利口浩二, 中久保義則, 松田朝彦, 鷹尾祥典, 斧高一: 「物理的プラズマダメージによるMOSFETバラツキ増大予測のための包括モデル」 シリコン材料・デバイス研究会 (SDM), 2011年10月20~21日, 東北大学, pp.73-78.
  • 中久保義則(D), 江利口浩二, 松田朝彦, 鷹尾祥典, 斧高一: 「電気的手法を用いた物理的Si基板ダメージのプラズマプロセス依存性の検討」 シリコン材料・デバイス研究会 (SDM), 2011年10月20~21日, 東北大学, pp.79-84.
  • 津田博隆(D),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「3次元原子スケールセルモデルによる表面ラフネス形成機構の解明: イオンの入射エネルギー・角度依存性」, 2011年秋季 第72回 応用物理学会学術講演会, 2011年8月29日~9月2日, 山形大学小白川キャンパス, 30a-M-9.
  • 松岡健二(M),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一:「二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン入射エネルギー分布」,2011年度秋季 第72回 応用物理学関係連合講演会,2011/08/29~09/02, 山形大学小白川キャンパス.
  • 中崎暢也(M),谷口健,津田博隆,鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「分子動力学法を用いたSiエッチング表面反応解析:Cl,Br,HBrビームエッチングにおけるイオン入射角度依存性及び入射エネルギー依存性」, 2011年秋季 第72回 応用物理学会学術講演会, 2011年8月29日~9月2日, 山形大学小白川キャンパス, 30a-M-12.
  • 鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「超小型誘導結合型プラズマ源における容量結合の影響」, 2011年秋季 第72回 応用物理学会学術講演会, 2011年8月29日~9月2日, 山形大学小白川キャンパス, 29a-ZN-2.
  • 鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「超小型高周波イオン推進機におけるプラズマ源の周波数依存性」, 2011年 電気学会 プラズマ研究会, 2011年8月7日~8月9日, 大阪工業大学 大宮キャンパス.
  • Hirotaka Tsuda(D), Yoshinori Takao, Koji Eriguchi and Kouichi Ono: "Atomic-scale surface roughness depending on the ion incident angle during Si etching in chlorine-based plasmas", 第24回プラズマ材料科学シンポジウム, 2011年7月19日~20日, 大阪大学 銀杏会館, B4-4. The 24th Symposium on Plasma Science for Materials Abstracts of Papers, p. 62.
  • 津田博隆(D),宮田浩貴,鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「3次元原子スケールセルモデルによるSiエッチング形状進展: シミュレーション:ナノスケール表面ラフネス形成機構の解明」, 2011年3月24日~27日, 神奈川工科大学, (講演会中止)
  • 松岡健二(M),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一:「二次元PIC/MCによる二周波重畳容量結合型プラズマの数値シミュレーション」,2011年度春季 第58回 応用物理学関係連合講演会,2011/03/24~27, 神奈川工科大学, (講演会中止)
  • 中崎暢也(B),谷口健,津田博隆,鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一:「分子動力学法を用いたSiエッチング表面反応解析:Cl,Br,HBrビームエッチングにおけるイオン入射角度依存性」,2011年度春季 第58回 応用物理学関係連合講演会,2011/03/24~27, 神奈川工科大学, (講演会中止)
  • [招待講演] 鷹尾 祥典: 「マイクロ波と高周波を用いたマイクロプラズマ推進」, 生存圏シンポジウム(波動分科会)「宇宙プラズマと航空宇宙工学との接点」, 2011年3月9日, 生存圏研究所木質ホール(京都大学宇治キャンパス).
  • 鷹尾 祥典: 「超小型イオンエンジンのための粒子シミュレーション」,第3回流体理工学部門公開セミナー, 2011年3月4日, 桂ホール(京都大学桂キャンパス).
  • [招待講演] 江利口浩二:"Siエッチングダメージのモデリング" 133回 研究集会(主催:応用物理学会シリコンテクノロジー分科会),2011年2月18日,東京(東京大学)p. 30.
  • [招待講演] 江利口浩二:"物理的プラズマダメージによるMOSFETオフリーク電流とそのバラツキの増大モデル" 第16回研究会ゲートスタック研究会-材料・プロセス・評価の物理(主催:応用物理学会シリコンテクノロジー分科会),2011年1月22日,東京(東京工業大学),pp. 15-18.
  • 北西 駿典(M), 鷹尾 祥典, 江利口 浩二, 斧 高一: 「強誘電体材料を用いた静電加速型マイクロスラスタにおけるイオン・電子放出の基礎特性評価」, 平成22年度宇宙輸送シンポジウム, 2011年1月20日~21日, JAXA相模原キャンパス.
  • 高橋 岳志(D), 鷹尾 祥典, 江利口 浩二, 斧 高一: 「Xバンドマイクロ波を用いた電熱加速型マイクロスラスタの性能評価」, 平成22年度宇宙輸送シンポジウム, 2011年1月20日~21日, JAXA相模原キャンパス.

2010

  • 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一: 「超小型高周波イオン推進機の粒子シミュレーション (Particle Simulation of a Micro RF Ion Thruster)」, 第54回宇宙科学技術連合講演会, 2010年11月17日~19日, 静岡県コンベンションアーツセンター「グランシップ」, OS:電気推進・先端推進の数値シミュレーション-1, 2C19 (JSASS-2010-4262).
  • [招待講演] 鷹尾祥典: 「2次元軸対称系における PIC/MCC 法を用いたマイクロ ICP の数値解析」, 第6回プラズマ新領域研究会「PIC 法の基礎と応用」, 2010年10月28日, 大阪府立大学中ノ島サテライト教室.
  • 谷口健(M),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「古典的分子動力学シミュレーションを用いた塩素・臭素系プラズマによるSiエッチングの反応解析:表面反応層及びエッチング生成物」, 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会, 2010年9月14日~17日, 長崎大学文教キャンパス, 16a-ZA-4.
  • 津田博隆(D),宮田浩貴,鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「3次元原子スケールセルモデルによるSiエッチング形状進展シミュレーション: 表面ラフネスの構造解析」, 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会, 2010年9月14日~17日, 長崎大学文教キャンパス, 16a-ZA-5.
  • 宮田浩貴(M),津田博隆,鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「フーリエ変換赤外吸収分光法を用いたCl2プラズマによるSiエッチングにおける表面および気相の反応解析」, 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会, 2010年9月14日~17日, 長崎大学文教キャンパス, 16a-ZA-6.
  • 江利口浩二,中久保義則,松田朝彦,鷹尾祥典,斧高一: 「プラズマプロセスにおけるSi基板ダメージ層形成モデルの提案」, 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会, 2010年9月14日~17日, 長崎大学文教キャンパス, 16a-ZA-8.
  • 松田朝彦(D),中久保義則,鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「分子動力学法によるプラズマ誘起ダメージ予測:イオンエネルギー分布の影響」, 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会, 2010年9月14日~17日, 長崎大学文教キャンパス, 16a-ZA-9.
  • 三枝琢己(D),鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「分子動力学シミュレーションを用いたシリコンナノワイヤ中の格子振動解析」, 2010年秋季 第71回 応用物理学会学術講演会, 2010年9月14日~17日, 長崎大学文教キャンパス, 17a-S-2.
  • 谷口 健(M), 長岡達弥, 津田博隆, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧 高一 : 「古典的分子動力学シミュレーションを用いた塩素系プラズマによるSiエッチング機構の解明:ビーム入射とビーム+ラジカル入射の比較 (Classical Molecular Dynamics Simulation of Plasma-Surface Interactions during Si Etching in Chlorine-based Plasmas:Beam Injenction, Beam plus Radical Injenction )」, 2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, 2010年3月17日~20日, 東海大学湘南キャンパス, 18p-ZD-13.
  • 津田博隆(M),森政士,鷹尾祥典,江利口浩二,斧高一: 「原子スケールモデルによるSiエッチング形状シミュレーション: 微視的不均一性に関する解析 (Atomic-scale Cellular Model and Profile Simulation of Si Etching in Chlorine-based Plasmas: Analysis of Mechanisms for Microscopic Uniformity)」, 2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, 2010年3月17日~20日, 東海大学湘南キャンパス, 18p-ZD-12.
  • 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一: 「PIC/MCC モデルを用いた超小型誘導結合型プラズマ源の数値解析 (Numerical Analysis of a Micro Inductively Coupled Plasma Source Using PIC/MCC)」, 2010年春季 第57回 応用物理学関係連合講演会, 2010年3月17日~20日, 東海大学湘南キャンパス, 18p-ZB-3.
  • 谷口 健(M), 長岡達弥, 津田博隆, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧 高一 : 「塩素・臭素プラズマによるSi エッチングの古典的分子動力学シミュレーション:ビーム入射、ビーム+ラジカル入射から、形状進展まで (Classical Molecular Dynamics Simulation of Plasma-Surface Interactions during Si Etching in Chlorine- and Bromine-based Plasmas: Beam Injection, Beam plus Radical Injection, and Feature Profile Evolution )」, 第27回プラズマプロセシング研究会(SPP-27), 2010年2月1日~3日, 横浜市開港記念会館, A2-02. The 27th Symposium on Plasma Processing Proceedings, 2010, .
  • 津田博隆(M),森 政士,鷹尾祥典,江利口浩二,斧 高一 : 「原子スケールモデルによるSiエッチング形状進展シミュレーション: 形状異常の予測とその制御 (Atomic-scale cellular model and profile simulation of Si etching in chlorine-containing plasmas: Control and prediction of profile anomalies)」, 第27回プラズマプロセシング研究会(SPP-27), 2010年2月1日~3日, 横浜市開港記念会館, A2-03. The 27th Symposium on Plasma Processing Proceedings, 2010, .
  • 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一: 「超小型誘導結合型プラズマ源の粒子シミュレーション (Particle Simulation of a Micro Inductively Coupled Plasma Source)」, 第27回プラズマプロセシング研究会(SPP-27), 2010年2月1日~3日, 横浜市開港記念会館, B6-01. The 27th Symposium on Plasma Processing Proceedings, 2010, .
  • 高橋 岳志(D), 北西 駿典, 鷹尾 祥典, 江利口 浩二, 斧 高一: 「電熱加速型マイクロプラズマスラスタの設計改良と性能評価」, 平成21年度宇宙輸送シンポジウム, 2010年1月14日~15日, JAXA相模原キャンパス.

2009

  • 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一: 「マイクロイオンスラスタのための PIC/MC モデルを用いたマイクロ ICP の解析 (Numerical Analysis of a Micro ICP Using PIC/MC Model for a Micro Ion Thruster)」, 第 46 回日本航空宇宙学会関西・中部支部合同秋期大会, 2009年11月27日, 京都大学 芝蘭会館 別館, B-2.
  • [招待講演] K. Eriguchi, Y. Nakakubo, A. Matsuda, M. Kamei, H. Ohta, H. Nakagawa, S. Hayashi,S. Noda, K. Ishikawa, M. Yoshimaru and K. Ono:"A New Framework for Performance Prediction of Advanced MOSFETs with Plasma-Induced Recess Structure and Latent Defect Site" 第9回 関西コロキアム電子デバイスワークショップ(主催:IEEE EDS Kansai Chapter),2009年10月22日,大阪(関西大学).
  • 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一: 「ICP プラズマ源を用いたマイクロイオンスラスタの PIC/MC モデル構築 (PIC/MC Model of a Micro Ion Thruster using an ICP Plasma Source )」, 第53回宇宙科学連合講演会, 2009年9月9日~11日, 京都大学, 1L17.
  • 斧高一: 「宇宙マイクロ・ナノ工学:現状と今後の展望」, 第53回宇宙科学連合講演会, 2009年9月9日~11日, 京都大学, 1F04.
  • 高橋岳志(D), 北西駿典, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一: 「数値解析を用いたマイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの設計検討」, 第53回宇宙科学連合講演会, 2009年9月9日~11日, 京都大学, 1L10.
  • 北西駿典(M), 高橋岳志, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一: 「発光分光法によるマイクロプラズマスラスタのガス温度と電子密度の測定」, 第53回宇宙科学連合講演会, 2009年9月9日~11日, 京都大学, 1L07.
  • 斧高一 : 「ULSI用エッチングプラズマの進化と現状」, 2009年(平成21年)秋季第70回応用物理学会学術講演会, 2009年9月8日~11日, 富山大学, 8p-ZD-4.
  • 三枝琢己(M),西村顕吉,鷹尾祥典,太田裕朗,江利口浩二,斧 高一: 「シリコンナノワイヤ中の熱輸送過程の解析とプラズマを用いた合成実験」, 2009年(平成21年)秋季第70回応用物理学会学術講演会, 2009年9月8日~11日, 富山大学, 11a-N-11.
  • 松田朝彦(M),中久保義則,深沢正永,鷹尾祥典,辰巳哲也,江利口浩二,斧 高一: 「H2を含むプラズマによるSi基板ダメージの光学的・電気的構造」, 2009年(平成21年)秋季第70回応用物理学会学術講演会, 2009年9月8日~11日, 富山大学, 9a-ZG-13.
  • 津田博隆(M),森 政士,鷹尾祥典,江利口浩二,斧 高一 : 「原子スケールセルモデルによるSiエッチング形状進展シミュレーション: 残渣の発現メカニズム」, 2009年(平成21年)秋季第70回応用物理学会学術講演会, 2009年9月8日~11日, 富山大学, 9a-ZG-12.
  • 谷口 健(M),長岡達弥,鷹尾祥典,江利口浩二,斧 高一 : 「ヨウ素プラズマによるSiエッチングシミュレーションのためのSi/I系ポテンシャルの構築」, 2009年(平成21年)秋季第70回応用物理学会学術講演会, 2009年9月8日~11日, 富山大学, 9a-ZG-11.
  • 長岡達弥(M),谷口 健,太田裕朗,鷹尾祥典,江利口浩二,斧 高一 : 「単原子イオンBr+, Cl+ と二原子イオンBr2+, Cl2+, HBr+ によるSiエッチングシミュレーション」, 2009年(平成21年)秋季第70回応用物理学会学術講演会, 2009年9月8日~11日, 富山大学, 9a-ZG-10.
  • 宮田浩貴(M),鷹尾祥典,江利口浩二,斧 高一: 「フーリエ変換赤外吸収分光法によるプラズマエッチング反応解析」, 2009年(平成21年)秋季第70回応用物理学会学術講演会, 2009年9月8日~11日, 富山大学, 9a-E-11.
  • Kouichi Ono: "A study of plasma-surface interactions in advanced plasma etching processes for nanofabrication" (招待講演), 第22回プラズマ材料科学シンポジウム, 2009年6月15日~16日, 東京大学 山上会館, A4-1. The 22nd Symposium on Plasma Science for Materials Abstracts of Papers, p. 81.
  • Asahiko Matsuda (M), Yoshinori Nakakubo, Yoshinori Takao, Koji Eriguchi and Kouichi Ono: "Modeling of Ion-Bombardment Damage on Si Surfaces for In-Line Analysis", 第22回プラズマ材料科学シンポジウム, 2009年6月15日~16日, 東京大学 山上会館, P-7. The 22nd Symposium on Plasma Science for Materials Abstracts of Papers, p. 30.
  • Yoshinori Nakakubo (D), Asahiko Matsuda, Yoshinori Takao, Koji Eriguchi and Kouichi Ono: "Effects of O2 addition on Si substrate surface damage exposed to Ar plasma", 第22回プラズマ材料科学シンポジウム, 2009年6月15日~16日, 東京大学 山上会館, P-6. The 22nd Symposium on Plasma Science for Materials Abstracts of Papers, p. 29.
  • Hirotaka Tsuda (M), Masahito Mori, Koji Eriguchi and Kouichi Ono: "Atomic-scale cellular model and profile simulation of Si etching: Formation of surface roughness and residues", 第22回プラズマ材料科学シンポジウム, 2009年6月15日~16日, 東京大学 山上会館, P-5. The 22nd Symposium on Plasma Science for Materials Abstracts of Papers, p. 28.
  • Masayuki Kamei (D), Yoshinori Nakakubo, Koji Eriguchi and Kouichi Ono: "Bias frequency dependence of pn junction chargin damage induced by plasma processing", 第22回プラズマ材料科学シンポジウム, 2009年6月15日~16日, 東京大学 山上会館, P-4. The 22nd Symposium on Plasma Science for Materials Abstracts of Papers, p. 27.
  • 長岡達弥(M),太田裕朗,江利口浩二,斧高一: 「古典的原子間ポテンシャルモデルを用いたHBrプラズマによるSiエッチングシミュレーション (The Application of Classical Interatomic Potential Model to Si Etching Simulation by HBr Plasmas)」, 2009年(平成21年)春季第56回応用物理学関係連合講演会, 2009年3月30日~4月2日, 筑波大学, 1p-ZW-16. 第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 第1分冊, p. 248.
  • 津田博隆(M),森政士,太田裕朗,江利口浩二,斧高一: 「原子スケールセルモデルによるSiエッチング形状シミュレーション: パターン底面部の表面あらさの定量化 (Atomic-scale Cellular Model and Profile Simulation of Si Etching: Quantification of Bottom Surface Roughness)」, 2009年(平成21年)春季第56回応用物理学関係連合講演会, 2009年3月30日~4月2日, 筑波大学, 1p-ZW-15. 第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 第1分冊, p. 248.
  • 松田朝彦(M),荻野力,中久保義則,太田裕朗,江利口浩二,斧高一: 「Si表面のプラズマダメージの精確な解析における界面層の重要性 (On the Importance of Interface Layer in Accurate Analysis of Plasma-Induced Damage on Si Surfaces)」, 2009年(平成21年)春季第56回応用物理学関係連合講演会, 2009年3月30日~4月2日, 筑波大学, 1p-ZW-12. 第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 第1分冊, p. 247.
  • 中久保義則(M),松田朝彦,荻野力,上田義法,江利口浩二,斧高一: 「O2添加ArプラズマによるSi基板表面層内誘起欠陥の電気的解析 (Electrical Analysis for the Defect Sites Generated within Si Substrate Surface Layer Exposed to O2 Additional Ar Plasma)」, 2009年(平成21年)春季第56回応用物理学関係連合講演会, 2009年3月30日~4月2日, 筑波大学, 1p-ZW-11. 第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 第1分冊, p. 246.
  • 三枝琢己(M),太田裕朗,江利口浩二,斧高一: 「MDシミュレーションによるシリコンナノワイヤの熱伝導率の計算 (Calculation of Thermal Conductivity of Silicon Nanowires using Molecular Dynamics Simulation)」, 2009年(平成21年)春季第56回応用物理学関係連合講演会, 2009年3月30日~4月2日, 筑波大学, 1a-P13-5. 第56回応用物理学関係連合講演会講演予稿集 第2分冊, p. 809.
  • 高橋岳志(D)、市田有吾、江利口浩二、斧高一: 「マイクロ波励起マイクロプラズマ推進機のプラズマ診断および推力測定: 推進剤の比較 (Plasma Diagnostics and Thrust Measurement of a Microwave-Excited Microplasma Thruster: A Comparison of Propellants)」, プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 2009年2月2日~4日, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン, P3-53. Plasma Science Symposium 2009 and The 26th Symposium on Plasma Processing Proceedings, pp. 520-521.
  • 上田義法(M)、仲村恵佑、清上博章、吉田昌弘、宮田浩貴、江利口浩二、斧高一: 「BCl3混合プラズマを用いたTaN/HfO2ゲートスタックのエッチング (Etching of TaN/HfO2 Gate-stack in BCl3-containing Plasmas)」, プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 2009年2月2日~4日, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン, P3-08. Plasma Science Symposium 2009 and The 26th Symposium on Plasma Processing Proceedings, pp. 430-431.
  • 中久保義則(M)、松田朝彦、荻野力、亀井政幸、江利口浩二、斧高一: 「プラズマによりSi表面に形成される電荷捕獲型欠陥の光学的・電気的解析 (Identification of Carrier Trapping Defect Sites in Plasma-Exposed Si Surface by Optical and Electrical Techniques)」, プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 2009年2月2日~4日, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン, P3-05. Plasma Science Symposium 2009 and The 26th Symposium on Plasma Processing Proceedings, pp. 424-425.
  • 長岡達弥(M)、太田裕朗、江利口浩二、斧高一: 「古典的分子動力学法を用いたHBrプラズマ中のBr+, Br2+, HBr+によるSiエッチング表面反応解析シミュレーション (Classical Molecular Dynamics Simulation to Analyze the Surface Reaction of Si Etching by Br+, Br2+, and HBr+ Ions in HBr Plasmas)」, プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 2009年2月2日~4日, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン, P3-04. Plasma Science Symposium 2009 and The 26th Symposium on Plasma Processing Proceedings, pp. 422-423.
  • 津田博隆(M)、入江祥己、森政士、太田裕朗、江利口浩二、斧高一: 「原子スケールセルモデルによるSiエッチング形状シミュレーション:形状進展における表面酸化の影響 (Atomic-scale Cellular Model and Profile Simulation of Si Etching: Effects of Surface Oxidation on Feature Profile Evolution)」, プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 2009年2月2日~4日, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン, P3-03. Plasma Science Symposium 2009 and The 26th Symposium on Plasma Processing Proceedings, pp. 420-421.
  • 松田朝彦(M)、荻野力、中久保義則、太田裕朗、江利口浩二、斧高一: 「Si表面におけるプラズマダメージ層増大の分光エリプソメトリーと分子動力学シミュレーションによる解析 (Detailed Analysis of Plasma-Damaged Layer and Its Significance in Si Surface Structures by Spectroscopic Ellipsometry and Molecular Dynamics Simulations)」, プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 2009年2月2日~4日, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン, P3-02. Plasma Science Symposium 2009 and The 26th Symposium on Plasma Processing Proceedings, pp. 418-419.
  • 高橋 岳志(D),市田 有吾, 江利口 浩二,斧 高一: 「電熱加速型マイクロプラズマスラスタの数値計算による形状検討」, 平成20年度宇宙輸送シンポジウム, 2009年1月19日~20日, JAXA相模原キャンパス.