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From 京大推進研

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郷矢 崇浩 (Takahiro Goya)

Contents

研究概要 / Study

  • プラズマダメージによる絶縁膜の機械特性変化メカニズムの解明

学歴 / Education

  • 2016年4月 大阪府立大学 工学域 機械系学類 入学
  • 2020年3月 大阪府立大学 工学域 機械系学類 航空宇宙工学課程 卒業
  • 2020年4月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 修士課程 入学
  • 2022年3月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 修士課程 修了
  • 2022年4月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 博士課程 入学

国際学会 / International conference

  1. Takahiro Goya(M2), Tomohiro Kuyama, Keiichiro Urabe, and Koji Eriguch: "A nanoindentation-based statistical evaluation scheme for mechanical property change in plasma-irradiated dielectric films" 42nd International Symposium on Dry Process: DPS2021, November 18-19, 2021, On-line, [Oral]

国内学会 / Domestic conferences

  1. 郷矢崇浩(M2),久山智弘,占部継一郎,江利口浩二 「シリコン窒化膜に形成されるプラズマダメージの機械特性評価と電気特性評価との相関に関する検討」,第69回応用物理学会春季学術講演会,2022年3月22日~26日,ハイブリッド開催,25a-E104-2.
  2. 郷矢崇浩(M2),久山智弘,占部継一郎,江利口浩二 「シリコン窒化膜のプラズマ曝露による機械特性変化評価手法の提案」,第82回応用物理学会秋季学術講演会,2021年9月10日~13日,オンライン開催,12a-N102-6.