Dissertations
京大推進研
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: Numerical Studies of the Electromagnetic Fields and Plasma Properties in a Microwave Plasma Source Excited by Azimuthally Symmetric Surface Waves<br /> (軸対称表面波励起マイクロ波プラズマ源における電磁界とプラズマ特性に関する数値的研究) | : Numerical Studies of the Electromagnetic Fields and Plasma Properties in a Microwave Plasma Source Excited by Azimuthally Symmetric Surface Waves<br /> (軸対称表面波励起マイクロ波プラズマ源における電磁界とプラズマ特性に関する数値的研究) | ||
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2012年4月3日 (火) 17:51時点における版
博士論文
目次 |
2011
- 高橋 岳志 (Takeshi Takahashi)
Full text
- Numerical and Experimental Study of Performance Improvement of a Microwave-Excited Microplasma Thruster Designed for Small Spacecraft
（小型宇宙機用マイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの性能向上に関する数値的・実験的研究）
2008
- 杉原 浩平 (Kohei Sugihara) Full text
- エレベイテッドソース・ドレイン技術による微細MOSFETの高性能化に関する研究
- 枝村 学 (Manabu Edamura) Full text
- 誘導結合型プラズマエッチング装置におけるプラズマ制御の高度化に関する研究
2007
- 鷹尾 祥典 (Yoshinori Takao) Full text
- Development of a Miniature Electrothermal Thruster Using Microwave-Excited Microplasmas for Ultra Small Satellites
(マイクロ波励起マイクロプラズマを用いた超小型人工衛星のための電熱加速型推進機の研究開発）
2006
- 小佐野 祐吾 (Yugo Osano) Full text
- An Atomic Scale Model of Plasma-Surface Interactions and Numerical Analysis of the Feature Profile Evolution during Silicon Etching in Chlorine-Containing Plasmas
(塩素系プラズマによるシリコンエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用の原子スケールモデルと形状進展の数値解析）
2004
- 津田 睦 (Mutsumi Tsuda) Full text
- A Study of Plasma-Surface Interactions in Plasma Etching with Chlorine- and Bromine-based Chemistries
（塩素および臭素系プラズマエッチングにおけるプラズマと表面との相互作用に関する研究）
2003
- 上坂 裕之 (Hiroyuki Kosaka) Full text
- Numerical Studies of the Electromagnetic Fields and Plasma Properties in a Microwave Plasma Source Excited by Azimuthally Symmetric Surface Waves
(軸対称表面波励起マイクロ波プラズマ源における電磁界とプラズマ特性に関する数値的研究)