Member:Seki
京大推進研
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*2025年3月 京都大学 工学部 物理工学科 宇宙基礎工学コース 卒業 | *2025年3月 京都大学 工学部 物理工学科 宇宙基礎工学コース 卒業 | ||
*2025年4月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学 | *2025年4月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学 | ||
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| + | #'''関馨'''(M1)，黒沼舜也，江利口浩二，占部継一郎：「トンネルリーク電流の極性依存性解析によるPE-CVD SiO2のプラズマ誘起ダメージ評価」，[https://pub.confit.atlas.jp/ja/event/jsap2025a/presentation/9p-N324-17 第86回 応用物理学会 秋季学術講演会]，2025年9月7日～10日，名城大学天白キャンパス＆オンライン，9p-N324-17. | ||
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2025年10月9日 (木) 12:28時点における版
関 馨/Kei Seki
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- 修士1年
- 研究室内役職 : 掃除・宴会
研究概要 / Study
プラズマ曝露による欠陥形成がシリコン酸化膜の経時的信頼性評価に及ぼす影響
学歴 / Education
- 2021年4月 京都大学 工学部 物理工学科 入学
- 2025年3月 京都大学 工学部 物理工学科 宇宙基礎工学コース 卒業
- 2025年4月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学
国内学会 / Domestic conference
- 関馨(M1)，黒沼舜也，江利口浩二，占部継一郎：「トンネルリーク電流の極性依存性解析によるPE-CVD SiO2のプラズマ誘起ダメージ評価」，第86回 応用物理学会 秋季学術講演会，2025年9月7日～10日，名城大学天白キャンパス＆オンライン，9p-N324-17.
