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博士論文

2013

津田　博隆 (Hirotaka Tsuda)   KURENAI repository  

Atomic-Scale Analysis of Plasma-Surface Interactions and Formation Mechanisms of Profile Anomalies and Surface Roughness during Plasma Etching of Silicon
（シリコンエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用と形状異常および表面ラフネス形成機構の原子スケール解析）

松田　朝彦 (Asahiko Matsuda)   KURENAI repository  

A Study on Plasma Process-Induced Damage during Fabrication of Si Devices and Methodology for Optical Measurement

2012

福本　浩志 (Hiroshi Fukumoto)   KURENAI repository  

Model Analysis of Plasma-Surface Interactions during Silicon Oxide Etching in Fluorocarbon Plasmas
（フルオロカーボンプラズマによる酸化シリコンエッチングにおけるプラズマ－表面相互作用の数値解析）

2011

高橋　岳志 (Takeshi Takahashi)   KURENAI repository  

Numerical and Experimental Study of Performance Improvement of a Microwave-Excited Microplasma Thruster Designed for Small Spacecraft
（小型宇宙機用マイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの性能向上に関する数値的・実験的研究）

2008

杉原　浩平 (Kohei Sugihara)   KURENAI repository  

エレベイテッドソース・ドレイン技術による微細MOSFETの高性能化に関する研究

枝村　学 (Manabu Edamura)   KURENAI repository  

誘導結合型プラズマエッチング装置におけるプラズマ制御の高度化に関する研究

2007

鷹尾　祥典 (Yoshinori Takao)   KURENAI repository  

Development of a Miniature Electrothermal Thruster Using Microwave-Excited Microplasmas for Ultra Small Satellites
(マイクロ波励起マイクロプラズマを用いた超小型人工衛星のための電熱加速型推進機の研究開発）

2006

小佐野　祐吾 (Yugo Osano)   KURENAI repository  

An Atomic Scale Model of Plasma-Surface Interactions and Numerical Analysis of the Feature Profile Evolution during Silicon Etching in Chlorine-Containing Plasmas
(塩素系プラズマによるシリコンエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用の原子スケールモデルと形状進展の数値解析）

2004

津田　睦 (Mutsumi Tsuda)   KURENAI repository  

A Study of Plasma-Surface Interactions in Plasma Etching with Chlorine- and Bromine-based Chemistries
（塩素および臭素系プラズマエッチングにおけるプラズマと表面との相互作用に関する研究）

2003

上坂　裕之 (Hiroyuki Kosaka)   KURENAI repository  

Numerical Studies of the Electromagnetic Fields and Plasma Properties in a Microwave Plasma Source Excited by Azimuthally Symmetric Surface Waves
(軸対称表面波励起マイクロ波プラズマ源における電磁界とプラズマ特性に関する数値的研究)