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江利口浩二 / Koji Eriguchi

工学研究科 航空宇宙工学専攻 航空宇宙基礎工学講座（准教授）

2005年7月着任

桂キャンパス (Cクラスター)

C3棟 b3S17室

宇治キャンパス

工学研究科 超空気力学実験室

TEL

075-383-3787(桂)・0774-38-3966(宇治)

FAX

0774-31-8811(宇治)

電子メール

eriguchi.koji.8ekyoto-u.ac.jp

研究テーマ

宇宙工学、プロセス工学の中心である”プラズマ"の応用に主眼を置き、プラズマと固体表面・界面との反応機構の理解を目的とした研究を行っています。プラズマ物理、表面反応物理、薄膜固体物理を基礎とし、特に、プラズマ中の原子分子、電子、イオンと、シリコンデバイスに代表される機能素子との相互作用過程の解明を通して、プラズマの工学的応用を探求しています。

主な学会・委員会活動

1999-2003　AVS (American Vacuum Society) Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage (P2ID), Conference Chair(2003)

2004-2005　IEEE International Electron Device Meeting (IEDM), CMOS and Interconnect Reliability subcommittee member

2004-2014　IEEE International Conference on IC Design and Technology (ICICDT), Conference Chair (2009), General Chair (2010),

　　　　　　 Tutorial Chair (2014)

2007-2014　IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS), Process Integration subcommittee Chair (2007–2008)

　　　　　　 Management committee–Asia Liaison (2011–2012), Secretary (2013), Workshop chair (2014), A/V chair (2015)

2008–2014　IMEC Plasma Etch and Strip in Microelectronics workshop (PESM), International program committee

2010　　　　応用物理学会Dry Process Symposium (DPS), Publication Chair (2010)

2011　　　　応用物理学会Int. Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices, Science and Technology (IWDTF), Publication Chair (2011),

2000 – 2002 半導体先端テクノロジーズ(SELETE：Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.)　合同TEG技術会議委員 2004 – 2010 応用物理学会Japanese Journal of Applied Physics (JJAP), 編集委員