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江利口浩二 / Koji Eriguchi

工学研究科航空宇宙工学専攻航空宇宙基礎工学講座（准教授）: 2005年7月着任
桂キャンパス (Cクラスター): C3棟 b3S17室
宇治キャンパス: 工学研究科超空気力学実験室
TEL: 075-383-3787(桂)・0774-38-3966(宇治)
FAX: 0774-31-8811(宇治)
電子メール: eriguchi.koji.8ekyoto-u.ac.jp
研究テーマ: 宇宙工学、プロセス工学の中心である”プラズマ"の応用に主眼を置き、プラズマと固体表面・界面との反応機構の理解を目的とした研究を行っています。プラズマ物理、表面反応物理、薄膜固体物理を基礎とし、特に、プラズマ中の原子分子、電子、イオンと、シリコンデバイスに代表される機能素子との相互作用過程の解明を通して、プラズマの工学的応用を探求しています。
主な学会・委員会活動: 1999-2003　AVS (American Vacuum Society) Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage (P2ID), Conference Chair (2003); 2004-2005　IEEE International Electron Device Meeting (IEDM), CMOS and Interconnect Reliability subcommittee member; 2004-2014　IEEE International Conference on IC Design and Technology (ICICDT), Conference Chair (2009), General Chair (2010),; 　　　　　　 Tutorial Chair (2014); 2007-2014　IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS), Process Integration subcommittee Chair (2007–2008); 　　　　　　 Management committee–Asia Liaison (2011–2012), Secretary (2013), Workshop chair (2014), A/V chair (2015); 2008–2014　IMEC Plasma Etch and Strip in Microelectronics workshop (PESM), International program committee; 2010　　　　応用物理学会Dry Process Symposium (DPS), Publication Chair (2010); 2011　　　　応用物理学会Int. Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices, Science and Technology (IWDTF),; 　　　　　　 Publication Chair (2011)

2004–2011　応用物理学会Japanese Journal of Applied Physics (JJAP), 編集委員, 特別編集委員長 (2011)

2007–2009　応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会幹事

2010–2012　応用物理学会関西支部幹事・役員

2014-2015　応用物理学会関西支部幹事・役員

2000–2005　電気学会誘電体薄膜集積技術調査専門委員

2011–2013　電気学会 RF-MEMSワイヤレス通信応用調査専門委員

2008–2010　日本航空宇宙学会関西支部幹事

2009–2012　日本真空協会関西支部幹事

2014–　　　日本学術振興会プラズマ材料科学第１５３委員会委員

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 : 宇宙工学、プロセス工学の中心である”プラズマ"の応用に主眼を置き、プラズマと固体表面・界面との反応機構の理解を目的とした研究を行っています。プラズマ物理、表面反応物理、薄膜固体物理を基礎とし、特に、プラズマ中の原子分子、電子、イオンと、シリコンデバイスに代表される機能素子との相互作用過程の解明を通して、プラズマの工学的応用を探求しています。
 ; 主な学会・委員会活動
-: 1999-2003　AVS (American Vacuum Society) Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage (P2ID), Conference Chair(2003)
+: 1999-2003　AVS (American Vacuum Society) Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage (P2ID), Conference Chair (2003)
 : 2004-2005　IEEE International Electron Device Meeting (IEDM),	CMOS and Interconnect Reliability subcommittee member
 : 2004-2014　IEEE International Conference on IC Design and Technology (ICICDT), Conference Chair (2009), General Chair (2010),
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 : 2008–2014　IMEC Plasma Etch and Strip in Microelectronics workshop (PESM), International program committee
 : 2010　　　　応用物理学会Dry Process Symposium (DPS), Publication Chair (2010)
-: 2011　　　　応用物理学会Int. Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices, Science and Technology (IWDTF), Publication Chair (2011),
+: 2011　　　　応用物理学会Int. Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices, Science and Technology (IWDTF),
+: 　　　　　　 Publication Chair (2011)
-– 2002	半導体先端テクノロジーズ(SELETE：Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.)　合同TEG技術会議委員
-– 2010	応用物理学会Japanese Journal of Applied Physics (JJAP), 編集委員
+: 2004–2011　応用物理学会Japanese Journal of Applied Physics (JJAP), 編集委員, 特別編集委員長 (2011)
+: 2007–2009　応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 幹事
+: 2010–2012　応用物理学会 関西支部 幹事・役員
+: 2014-2015　応用物理学会 関西支部 幹事・役員
+: 2000–2005　電気学会 誘電体薄膜集積技術調査専門委員
+: 2011–2013　電気学会 RF-MEMSワイヤレス通信応用調査専門委員
+: 2008–2010　日本航空宇宙学会 関西支部 幹事
+: 2009–2012　日本真空協会 関西支部 幹事
+: 2014–　　　 日本学術振興会プラズマ材料科学第１５３委員会 委員
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