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京大推進研

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プラズマ曝露による欠陥形成がシリコン酸化膜の経時的信頼性評価に及ぼす影響
  
 
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2025年2月19日 (水) 16:45時点における版

関 馨/Kei Seki

目次

  • 学部4年


研究概要 / Study

プラズマ曝露による欠陥形成がシリコン酸化膜の経時的信頼性評価に及ぼす影響

学歴 / Education

  • 2021年4月 京都大学 工学部 物理工学科 入学