シミュレーション 2次元の粒子モデル(PIC/MC: particle-in-cell/Monte Carlo)を用いてプラズマ気相の数値解析を行っています。図1はプラズマ源の概略図です。本研究では容量結合型プラズマを仮定しています。図2はポテンシャルの分布を示しています。これより、電極付近にきわめてポテンシャルドロップが大きい領域（シース）の存在が見てとれます。