木崎 涼介 (Ryosuke KIZAKI)

• 修士１年
• メール：kizaki.ryosuke.34r[at]st.kyoto-u.ac.jp
• 研究室内役職：総務係，会計係，宴会係

研究概要 / Study

• シリコン基板を用いた間接的手法によるプラズマパラメータ診断
• プラズマ曝露によるシリコン基板の機械特性変化に関する研究
• 学部卒業研究（２０１８年３月）：「プラズマ曝露によるシリコン基板ナノ表面の硬さ変化に関する研究」

学歴 / Education

• ２０１３年３月 城北高等学校 卒業
• ２０１４年４月 京都大学 工学部 物理工学科 入学
• ２０１８年３月 京都大学 工学部 物理工学科 宇宙基礎工学コース 卒業
• ２０１８年４月 京都大学大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学

国際学会

Ryosuke Kizaki(M2), Keiichiro Urabe, and Koji Eriguchi: "Investigation of the effects of surface states on Si damaged layer formation during plasma processes", 41st International Symposium on Dry Process: DPS2019, November 21-22, 2019, JMS Aster plaza, Hiroshima, Japan.