• 修士1回
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研究概要

• 反応性プラズマ支援成膜法により作製した窒化ホウ素膜の構造評価（学部卒業研究）

　 反応性プラズマ支援成膜（RePAC）法により作製した窒化ホウ素（BN）膜を主に機械特性の観点から評価しました．

• RePACシステムにおける発光分光測定（OES）によるプラズマ診断

　 OESにより得られるプラズマの諸パラメータ（主にプラズマの温度）を計測し，プラズマ診断を行っています．