Member:Tsujii
京大推進研
辻井 駿佑 (Tsujii Shunsuke)
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- 修士2年
研究概要 / Study
- 成膜パラメータのSi基板面内分布解析に基づく窒化ホウ素膜プロセスの開発
学歴 / Education
- 2018年4月 京都大学 工学部 物理工学科 入学
- 2023年3月 京都大学 工学部 物理工学科 宇宙基礎工学コース 卒業
- 2023年4月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学
国際学会 / International conference
- Shunsuke Tsujii(M2), Yuya Asamoto, Masao Noma, Michiru Yamashita, Shigehiko Hasegawa, Keiichiro Urabe, and Koji Eriguchi: "Influence of sp2/sp3 ratio and impurity on optical and electrical characteristics of boron nitride films prepared by reactive plasma-assisted coating method", December 16-18, 2024, Yokohama, 34th Annual Meeting of The Materials Research Society of Japan (MRS-J), C-1 (2024).