学部卒業研究

2010年度（2011年3月）

横江　公貴

直接シミュレーションモンテカルロ法による超音速自由噴流の流れ場の解析

中崎　暢也

分子動力学法を用いたSiエッチング表面反応解析: Cl, Br, HBr ビームエッチングにおけるイオン入射角度依存性

福島　大介

フーリエ変換赤外吸収分光法を用いた Cl2 プラズマによる Si エッチングの反応解析: Si(100) と Si(111) 表面の比較

2009年度（2010年3月）

佐藤　聖太

BCl₃混合プラズマによる高誘電率材料薄膜エッチングの研究

松岡　健二

容量結合型高周波プラズマの2次元粒子モデルによる数値シミュレーション

2008年度（2009年3月）

荻野　力

分光エリプソメトリー解析を用いたDCプラズマによるSi表面ダメージ層の形成機構に関する研究

北西　駿典

ICCDを用いた発光分光法によるマイクロプラズマのガス温度と電子密度の測定

谷口　健

量子化学計算による古典的原子間ポテンシャルモデルの構築：Si/I系ポテンシャル

宮田　浩貴

Cl₂プラズマによるSiエッチングにおける赤外吸収分光法を用いた気相・表面の反応解析

西村　顕吉

プラズマスパッタリングによるシリコンナノワイヤの形成に関する研究

2007年度（2008年3月）

岩川　輝

臭化水素プラズマによるシリコンエッチングの分子動力学法によるシミュレーション研究

津田　博隆

グローバルモデルによる塩素／酸素混合プラズマの解析とシリコンエッチング形状シミュレーション

松田　朝彦

分光エリプソメトリーによるプラズマ暴露シリコン表面の診断に関する研究

山口　敏和

塩素系プラズマエッチングにおけるマイクロ波干渉法と四重極質量分析法によるプラズマ診断

2006年度（2007年3月）

吉田　昌弘

フーリエ変換赤外吸収分光法を用いたプラズマ気相・表面解析

大野　章

フォトリフレクタンス分光法による固体の表面診断に関する研究

上田　義法

発光分光法・レーザー誘起蛍光法によるプラズマ診断

2005年度（2006年3月）

濱田　大輔

ECRプラズマによるメタル電極材料のエッチング特性

高橋　岳志

超小型推進機のための表面波励起プラズマ源の数値解析

鈴村　太郎

プラズマエッチングにおける微細構造内表面の電荷蓄積の数値シミュレーション

入江　祥己

プラズマエッチングにおける微細形状進展の数値シミュレーションと微視的均一性

2004年度（2005年3月）

中井　達也

プラズマエッチングにおける微細構造内での反応機構の解析と形状シミュレーション

木瀬　功貴

誘導結合プラズマの流体シミュレーションによる特性解析

加藤　貴也

電子サイクロトロン共鳴プラズマ源における磁場形状の数値解析と装置設計

2003年度（2004年3月）

中村　浩樹

マルチ内部アンテナ型大面積・高密度誘導結合プラズマ源のプラズマ密度分布に関する研究

濵谷　典史

発光分光法を用いた微粒子プラズマの解析

井上　幸二

軸対称表面波励起プラズマ源の二次元流体モデルによる数値解析

2002年度（2003年3月）

北川　智洋

高誘電率ゲート絶縁膜材料の誘導結合型プラズマによるエッチング特性

中田　大将

静電プローブと磁気プローブによる軸対称マイクロ波励起表面波プラズマの診断

草場　尚喜

アルゴンプラズマのノズル流れに関する数値的研究

2001年度（2002年3月）

三田村　崇司

プラズマＣＤＶ法による低誘電率多孔質薄膜の形成とＸ線反射計測を用いた膜構造評価

小澤　宇志

三次元ノズル内のアルゴンプラズマ流に関する数値的研究

岩下　久人

超音速フリージェットにおける流れ場とＡｒクラスター形成に関する研究

山本　紘史

ヘリコン波励起プラズマを用いた電気推進に関する研究

山岸　亨

ミリメートルサイズの小型マイクロ波励起プラズマ源の研究

2000年度（2001年3月）

佐野　敦

プラズマと接触した固体表面の微細構造内での粒子輸送と加工形状に関する研究 ―壁面での粒子の反射位置を積分変数として含む解析ー

丸　祐介

静電プローブ診断法を用いた軸対称表面波励起マイクロ波プラズマのパルスプラズマ特性に関する研究

藤掛　功

パルスプラズマにおける活性種の反応過程に関する研究

小柳　容子

プラズマと接触した固体表面の微細構造内での粒子輸送と加工形状に関する研究 ―壁面への粒子の入射角を積分変数とした解析ー

1999年度（2000年3月）

土井　祐介

プラズマと接触した固体表面上のイオンシース構造とその形成過程の数値解析

篠原　将之

誘導結合高周波プラズマ源におけるプラズマ電流誘起過程のモデル解析と装置設計

三木　賢二

分布多極磁場を有するマイクロ波励起プラズマ源における荷電粒子軌道の数値解析と装置設計

野村　徹

非平衡アルゴン－酸素混合プラズマにおける活性種の反応過程のモデル計算