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京大推進研

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(その他学会発表 / Other conferences)
(朝本 雄也/Yuya Asamoto)
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===自己紹介===
 
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*修士2回
 
*修士2回
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*所属学会:応用物理学会
 
*E-mail:asamoto.yuya.78z@st.kyoto-u.ac.jp
 
*E-mail:asamoto.yuya.78z@st.kyoto-u.ac.jp
  

2021年9月12日 (日) 17:48時点における版

目次

朝本 雄也/Yuya Asamoto

自己紹介

  • 修士2回
  • 所属学会:応用物理学会
  • E-mail:asamoto.yuya.78z@st.kyoto-u.ac.jp

学歴

  • 2016年3月 大阪星光学院高等学校 卒業
  • 2016年4月 京都大学 工学部 物理工学科 入学
  • 2020年3月 京都大学 工学部 物理工学科 宇宙基礎工学コース 卒業
  • 2020年4月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学

研究概要/Research

  • 反応性プラズマ支援成膜法により作製した窒化ホウ素膜の構造評価(学部卒業研究)

  反応性プラズマ支援成膜(RePAC)法により作製した窒化ホウ素(BN)膜を主に機械特性の観点から評価しました.

  • RePACシステムにおける発光分光測定(OES)によるプラズマ診断

  OESにより得られるプラズマパラメータを測定し,プラズマ診断を行っています

受賞/Award

  1. 令和2年度吉田卒業研究・論文賞,2020年10月16日.

国内学会/Domestic conferences

  1. 朝本雄也(M2),松田崇行,濱野誉,野間正男,長谷川繁彦,山下満,占部継一郎,江利口浩二「熱電子供給型真空アーク放電の放電電流決定機構に基づくプロセス制御」,第82回応用物理学会秋季学術講演会,2021年9月10日~13日,オンライン開催,12p-N102-9.
  2. 朝本雄也(M1),松田崇行,濱野誉,野間正男,長谷川繁彦,山下満,占部継一郎,江利口浩二「反応性プラズマ支援成膜法に用いる熱電子供給型アーク放電の発光分光法を用いた電離機構解析」,SPP-38/SPSM33,2021年1月27日~29日,オンライン開催,LO29-PM-A-03.

その他学会発表 / Other conferences

  1. 松田崇行,濱野誉,朝本雄也(M2),野間正男,長谷川繁彦,山下満,占部継一郎,江利口浩二:「イオンフラックス制御型反応性プラズマ支援成膜法による窒化ホウ素膜構造制御に関する研究」,第82回応用物理学会秋季学術講演会,2021年9月10日~13日,オンライン開催,12p-N102-8.