江利口 浩二 / Koji Eriguchi

工学研究科 航空宇宙工学専攻 航空宇宙基礎工学講座（教授）

2016年7月着任

桂キャンパス (Cクラスター)

C3棟 b3S16室

宇治キャンパス

工学研究科 超空気力学実験室

TEL

075-383-3786(桂)・0774-38-3966(宇治)

FAX

0774-31-8811(宇治)

電子メール

eriguchi.koji.8ekyoto-u.ac.jp

研究テーマ

宇宙工学，プロセス工学の中心である"プラズマ応用"に主眼を置き，プラズマと接する固体表面・界面での反応機構の理解・応用を目的とした研究を行っています．プラズマ物理，表面反応物理，薄膜固体物理，信頼性物理を基礎とし，特に，プラズマ中の原子分子・電子・イオン・フォトンと，シリコン半導体・有機系薄膜に代表される機能素子材料との相互作用過程の解明を通して，プラズマの工学的応用ならびに極環境下で高機能・高信頼性を実現する新材料・デバイス設計を探求しています．

(主な研究テーマ)

１．超微細領域でのプラズマ・固体表面界面反応制御を目指した研究：

　　原子レベルでプラズマ－固体表面反応を理解することで，超微細領域で制御された新しいプラズマプロセス，プロセス最適化設計を実現します．

　　（例：イオンエネルギー・フラックス最適化，３次元デバイス構造での反応制御，統計的ばらつき・ゆらぎ最適制御設計，

　　　分子動力学・量子化学計算科学など）

２．プラズマを用いた新機能材料設計・デバイス創製とその信頼性物理に関する研究：

　　宇宙空間のような極環境下において高性能・高信頼性を達成する新しい材料・デバイス設計を実現します．

　　（例：宇宙用途を鑑みた耐プラズマ性・超硬度特性をもつ薄膜BN構造材料設計，耐放射線性をもつ抵抗変化型メモリデバイスの高信頼性設計など）

３．新機能デバイス設計のための新しい電気的・光学的物性解析手法の研究：

　　高信頼性材料設計を可能にする，誘電関数・量子トンネル過程に着目した新しい解析・設計手法を実現します．

　　（例：ナノ領域での新変調反射率分光・キャリア捕獲準位密度定量化など）

　　　　

主な学会・委員会活動

　国外

1999-2003　AVS (American Vacuum Society) Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage (P2ID), Conference Chair (2003)

2004-2005　IEEE International Electron Device Meeting (IEDM), CMOS and Interconnect Reliability subcommittee member

2004-2021　IEEE International Conference on IC Design and Technology (ICICDT), Conference Chair (2009), General Chair (2010),

　　　　　　 Tutorial Chair (2014, 2015), Secretary (2016, 2017), Tutorial Chair (2021)

2007-2024　IEEE International Reliability Physics Symposium (IRPS), Process Integration subcommittee Chair (2007–2009)

　　　　　　 Management committee–Asia Liaison (2011–2012), Secretary (2013), Workshop Chair (2014), A/V Chair (2015)

　　　　　　 Presentation Chair (2016), Asia publicity (2017), Registration Chair (2018), Tutorial Chair (2019), Publication Chair (2020),

　　　　　　 Finance Chair (2021), Technical Program Chair (2022), Vice General Chair (2023), General Chair (2024)

2008–2014　IMEC Plasma Etch and Strip in Microelectronics workshop (PESM), International program committee

　国内

1999　　　　応用物理学会 Silicon Nanoelectronics Workshop, Program committee

2000–2005　電気学会 誘電体薄膜集積技術調査専門委員

2004　　　　応用物理学会 Int. Conf. Solid State Device and Materials (SSDM), 実行委員

2004–2011　応用物理学会 Japanese Journal of Applied Physics (JJAP), 編集委員, 特別編集委員長 (2011)

2007–2009　応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 幹事

2008　　　　日本航空宇宙学会　第46回関西・中部支部合同秋期大会, 実行委員

2008–2010　日本航空宇宙学会 関西支部 幹事

2019–2020　日本航空宇宙学会 関西支部 幹事

2009–2012　日本真空協会 関西支部 幹事

2010-2022　応用物理学会 Dry Process Symposium (DPS), Publication Chair (2010), Program Committee (2011-2022)

2010　　　　日本真空協会　第51回真空に関する連合講演会, 実行委員

2010–2012　応用物理学会 関西支部 幹事・役員

2011-2021　応用物理学会 Int. Workshop on Dielectric Thin Films for Future Electron Devices, Science and Technology (IWDTF),

　　　　　　 Publication Chair (2011), Program Committee (2013, 2015, 2017, 2019, 2021)

2011–2013　電気学会 RF-MEMSワイヤレス通信応用調査専門委員

2012　　　　日本真空学会　第53 回真空に関する連合講演会, 実行委員

2014-2015　応用物理学会 関西支部 幹事・役員

2014–　　　 日本学術振興会プラズマ材料科学第１５３委員会 委員

所属学会

IEEE (The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc.): Electron Device Society, Reliability Society

AVS (American Vacuum Society)

応用物理学会：シリコンテクノロジー分科会，プラズマエレクトロニクス分科会

日本表面真空学会

日本航空宇宙学会

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