Member:Hamano
京大推進研
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濱野 誉（Takashi HAMANO）
- 博士1年
- 博士課程前後期連携教育プログラム
- 日本学術振興会特別研究員DC1
- メール：hamano.takashi.35c
st.kyoto-u.ac.jp
- 所属学会：応用物理学会 (JSAP)
シリコンテクノロジー分科会 (応用物理学会)
プラズマエレクトロニクス分科会 (応用物理学会) - ORCID: 0000-0002-5941-510X
- 研究室内役職：学会, HP, OA
お知らせ / Important News
- 2019/09/30 日本学術振興会特別研究員DC1に内定しました．
- 2019/08/19 主著論文がJournal of Physics D: Applied Physics誌に掲載されました．
- 2019/06/21 共著論文がPlasma Processes and Polymers誌に掲載されました．
キーワード / Key words
- Plasma process，Plasma-induced damage，Reliablity，Optimization，Stochastic process
- Si，Si dioxide，Boron nitride film
研究概要 / Research
- シリコン単結晶基板内部に生じるプラズマ誘起ダメージの進展メカニズムの解析
- プラズマ曝露を受けたシリコン酸化膜の絶縁破壊過程の確率モデル構築
- 窒化ホウ素薄膜の成膜技術の確立
を主たるテーマとして研究を行っています．
