Member:Hatsuse
京大推進研
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3次元原子スケールセルモデルを用いて、プラズマエッチングの形状進展シミュレーションを行っています。 | 3次元原子スケールセルモデルを用いて、プラズマエッチングの形状進展シミュレーションを行っています。 | ||
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2013年5月9日 (木) 11:02時点における版
初瀬 巧 (Takumi Hatsuse)
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- 修士課程1年
- メール:hatsuse.takumi.84w@st.kyoto-u.ac.jp
- 研究室内役職:安全・宴会
概要
3次元原子スケールセルモデルを用いて、プラズマエッチングの形状進展シミュレーションを行っています。
学歴
- 2008年4月 京都大学 工学部 物理工学科 入学
- 2013年3月 同 卒業
- 2013年4月 京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学
趣味
- フットサル
学位論文題目
- 学部卒業研究
- 「3次元原子スケールセルモデルを用いたCl2/O2プラズマによるSiエッチングの形状進展シミュレーション」