Member:Shinohara
京大推進研
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Shinohara OA (トーク | 投稿記録) (→篠原 健吾(Kengo Shinohara)) |
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*2016年3月 京都大学 工学部 物理工学科 卒業 | *2016年3月 京都大学 工学部 物理工学科 卒業 | ||
*2016年4月 京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学 | *2016年4月 京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学 | ||
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| − | Kengo Shinohara, Kentaro Nishida, Kouichi Ono, and Koji Eriguchi: "Effects of plasma exposure on leakage and reliability parameters of dielectric film: New measures of damage?", [http://www.dry-process.org/2016/index.html 38th International Symposium on Dry Process: DPS2016], November 21-22, 2016, Conference Hall, Hokkaido University, Sapporo, Hokkaido, Japan. Proc. 38th International Symposium on Dry Process (DPS), 27-28 (2016). | + | * Kengo Shinohara, Kentaro Nishida, Kouichi Ono, and Koji Eriguchi: "Effects of plasma exposure on leakage and reliability parameters of dielectric film: New measures of damage?", [http://www.dry-process.org/2016/index.html 38th International Symposium on Dry Process: DPS2016], November 21-22, 2016, Conference Hall, Hokkaido University, Sapporo, Hokkaido, Japan. Proc. 38th International Symposium on Dry Process (DPS), 27-28 (2016). |
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2016年12月14日 (水) 16:45時点における版
篠原 健吾(Kengo Shinohara)
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- 修士1年
- メール：shinohara.kengo.88v(at)st.kyoto-u.ac.jp
研究概要
- 電気伝導解析による絶縁薄膜のプラズマ誘起欠陥形成過程の研究
学歴
- 2012年4月 京都大学 工学部 物理工学科 入学
- 2016年3月 京都大学 工学部 物理工学科 卒業
- 2016年4月 京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学
国際学会 / International conference
- Kengo Shinohara, Kentaro Nishida, Kouichi Ono, and Koji Eriguchi: "Effects of plasma exposure on leakage and reliability parameters of dielectric film: New measures of damage?", 38th International Symposium on Dry Process: DPS2016, November 21-22, 2016, Conference Hall, Hokkaido University, Sapporo, Hokkaido, Japan. Proc. 38th International Symposium on Dry Process (DPS), 27-28 (2016).
