Research
京大推進研
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| − | [[画像:Threepillars.png|thumb|350px|プラズマ・宇宙・半導体]] | + | <!--[[画像:Threepillars.png|thumb|350px|プラズマ・宇宙・半導体]] |
[[画像:ICP.jpg|thumb|250px|誘導結合型プラズマ]] | [[画像:ICP.jpg|thumb|250px|誘導結合型プラズマ]] | ||
航空宇宙機の推進に関連する作業媒質である '''電離気体（プラズマ）''' に関する基礎研究並びに応用研究をおこなっています。それらの力学的性質と共に、構成要素である原子分子やイオンの気相中での反応過程並びに固体表面との相互作用に関する研究にも重点を置いています。 | 航空宇宙機の推進に関連する作業媒質である '''電離気体（プラズマ）''' に関する基礎研究並びに応用研究をおこなっています。それらの力学的性質と共に、構成要素である原子分子やイオンの気相中での反応過程並びに固体表面との相互作用に関する研究にも重点を置いています。 | ||
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====大規模スケール分子動力学 (MD) 法==== | ====大規模スケール分子動力学 (MD) 法==== | ||
| − | 分子動力学（Molecular Dynamics）法を駆使し、Cl<sub>2</sub>/O<sub>2</sub> 混合プラズマによる Si エッチングにおける表面反応を追跡しています。これまでの研究により、エッチング時の微小な表面ラフネス形成の形成メカニズムを明らかにしました。このラフネスは、さらに大きなスケール（ナノ～マイクロオーダー）のラフネス形成を誘発すると考えられ、今後のデバイス開発においては、こうした微小な表面ラフネスの正確な制御が強く要求されます。 | + | 分子動力学（Molecular Dynamics）法を駆使し、Cl<sub>2</sub>/O<sub>2</sub> 混合プラズマによる Si エッチングにおける表面反応を追跡しています。これまでの研究により、エッチング時の微小な表面ラフネス形成の形成メカニズムを明らかにしました。このラフネスは、さらに大きなスケール（ナノ～マイクロオーダー）のラフネス形成を誘発すると考えられ、今後のデバイス開発においては、こうした微小な表面ラフネスの正確な制御が強く要求されます。--> |