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京大推進研

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2008

  • 高橋岳志(D)，市田 有吾, 鷹尾 祥典，太田 裕朗，江利口 浩二，斧 高一: 「マイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの数値解析および実験」, 第52回 宇宙科学技術連合講演会, 2008年11月5日～7日, 淡路夢舞台国際会議場, 1G09.
  • 江利口浩二: 「プラズマエッチングの基礎と研究開発・量産現場での課題」 （招待講演）, 第2回プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール, 2008年9月24日～26日, マキノパークホテル＆セミナーハウス, 専門講座4.
  • 津田博隆(M)，森政士，太田裕朗，江利口浩二，斧高一: 「原子スケールセルモデルによるSiエッチング形状シミュレーション: Si微細パターン内での表面酸化と粒子挙動の解析」, 第2回プラズマエレクトロニクス インキュベーションホール, 2008年9月24日～26日, マキノパークホテル＆セミナーハウス.
  • 中久保義則(M)，松田朝彦，上田義法，太田裕朗，江利口浩二，斧　高一: 「Ar系プラズマにおけるSi表面層内誘起欠陥形成過程のO2添加効果」, 2008年（平成20年）秋季第69回応用物理学会学術講演会, 2008年9月2日～5日, 中部大学, 3a-ZC-11.
  • 上田義法(M)，仲村恵佑，清上博章，太田裕朗，江利口浩二，斧　高一: 「BCl3混合プラズマを用いた高誘電率HfO2薄膜エッチングにおける反応解析」, 2008年（平成20年）秋季第69回応用物理学会学術講演会, 2008年9月2日～5日, 中部大学, 3a-ZC-10.
  • 津田博隆(M)，森　政士，太田裕朗，江利口浩二，斧　高一: 「原子スケールセルモデルによるSiエッチング形状シミュレーション：微細パターン内での表面酸化と粒子挙動の解析」, 2008年（平成20年）秋季第69回応用物理学会学術講演会, 2008年9月2日～5日, 中部大学, 3a-ZC-9.
  • 岩川 輝(M), 長岡 達弥，太田 裕朗，江利口 浩二，斧 高一: 「プラズマ表面相互作用解析シミュレータの開発(2): 高ラジカル/イオン比の検討」, 2008年（平成20年）秋季第69回応用物理学会学術講演会, 2008年9月2日～5日, 中部大学, 3a-ZC-8.
  • 長岡 達弥(M)，岩川 輝，太田 裕朗，江利口 浩二，斧 高一: 「プラズマ表面相互作用解析シミュレータの開発(1): Br系プラズマによるSiエッチング」, 2008年（平成20年）秋季第69回応用物理学会学術講演会, 2008年9月2日～5日, 中部大学, 3a-ZC-7.
  • 亀井政幸(D)，江利口 浩二，岡田健治、斧 高一: 「プラズマによる接合特性劣化のバイアス周波数依存性」, 2008年（平成20年）春季第55回応用物理学関係連合講演会, 2008年3月27日～30日, 日本大学, 28a-P5-21.
  • 福本 浩志(D)，太田 裕朗，江利口 浩二，斧 高一: 「マスクパターンおよびチャージングがプラズマエッチングに及ぼす影響」, 2008年（平成20年）春季第55回応用物理学関係連合講演会, 2008年3月27日～30日, 日本大学, 28p-S-20.
  • 高橋岳志(D)，市田有吾，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一: 「マイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの数値解析」, 2008年（平成20年）春季第55回応用物理学関係連合講演会, 2008年3月27日～30日, 日本大学, 28p-T-15.
  • 上田 義法(M), 仲村 恵佑，濱田 大輔，吉田 昌弘, 太田 裕朗，江利口 浩二, 斧 高一: 「BCl3混合プラズマを用いた高誘電率HfO2薄膜のエッチングにおけるイオンエネルギー依存性」, 2008年（平成20年）春季第55回応用物理学関係連合講演会, 2008年3月27日～30日, 日本大学, 28a-S-2.
  • 清上博章(M)，仲村恵佑，太田裕朗，江利口浩二，斧　高一: 「塩素系プラズマを用いたメタル電極材料のエッチング特性」, 2008年（平成20年）春季第55回応用物理学関係連合講演会, 2008年3月27日～30日, 日本大学, 28a-S-1.
  • Hiroaki Kiyokami, Keisuke Nakamura, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono: 「塩素系プラズマを用いたメタル電極材料と高誘電率絶縁材料のエッチング特性 (Etching of metal gate and high-k dielectric materials in chlorine-containing plasmas)」, 第25回プラズマプロセシング研究会 (SPP-25), 2008年1月23日～25日, 山口県教育会館・ゆ～あいプラザ山口県社会福祉会館, P2-28. Proceedings of the 25th Symposium on Plasma Processing (SPP-25), 2008, pp. 277-278.
  • Yoshinori Nakakubo, Asahiko Matsuda, Yoshinori Ueda, Daisuke Hamada, Masayuki Kamei, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono: 「シリコン表面ダメージ層形成過程におけるバイアス周波数重畳効果 (Effects of the superposed bias-frequency configurations on the defect generation probability in Si surface region)」, 第25回プラズマプロセシング研究会 (SPP-25), 2008年1月23日～25日, 山口県教育会館・ゆ～あいプラザ山口県社会福祉会館, P2-25. Proceedings of the 25th Symposium on Plasma Processing (SPP-25), 2008, pp. 271-272.
  • Hiroshi Fukumoto, Koji Eriguchi and Kouichi Ono: 「エッチング形状進展におけるマスクパターン依存性 (Dependence of Mask Patterns on Etching Profile Evolution)」, 第25回プラズマプロセシング研究会 (SPP-25), 2008年1月23日～25日, 山口県教育会館・ゆ～あいプラザ山口県社会福祉会館, P2-23. Proceedings of the 25th Symposium on Plasma Processing (SPP-25), 2008, pp. 267-268.
  • Koji Eriguchi, Masayuki Kamei, Kenji Okada, and Kouichi Ono: 「プラズマチャージングダメージがHigh-kゲート先端トランジスタ劣化極性へ及ぼす効果 (Plasma charging damage polarity in advanced MOSFETs with high-k gate dielectric)」, 第25回プラズマプロセシング研究会 (SPP-25), 2008年1月23日～25日, 山口県教育会館・ゆ～あいプラザ山口県社会福祉会館, B4-05. Proceedings of the 25th Symposium on Plasma Processing (SPP-25), 2008, pp. 77-78.
  • Yoshinori Ueda, Keisuke Nakamura, Daisuke Hamada, Masahiro Yoshida, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono: 「BCl3混合プラズマを用いた高誘電率HfO2薄膜のECRおよびICPリアクタによるエッチング特性の比較 (Comparative study of ECR and ICP plasma etching of high-k dielectric HfO2 films with BCl3-containing gas chemistries)」, 第25回プラズマプロセシング研究会 (SPP-25), 2008年1月23日～25日, 山口県教育会館・ゆ～あいプラザ山口県社会福祉会館, B4-03. Proceedings of the 25th Symposium on Plasma Processing (SPP-25), 2008, pp. 73-74.
  • Hirotaka Tsuda, Shoki Irie, Masahito Mori, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono: 「塩素系・臭素系プラズマによるSiエッチングにおける形状進展のモデル解析 (Model analysis of the profile evolution during Si etching in chlorine- and bromine-containing plasmas)」, 第25回プラズマプロセシング研究会 (SPP-25), 2008年1月23日～25日, 山口県教育会館・ゆ～あいプラザ山口県社会福祉会館, B4-02. Proceedings of the 25th Symposium on Plasma Processing (SPP-25), 2008, pp. 71-72.
  • 高橋 岳志，市田 有吾, 鷹尾 祥典，江利口 浩二，斧 高一: 「電熱加速型マイクロプラズマスラスタの数値シミュレーション」, 平成19年度宇宙輸送シンポジウム, 2008年1月28日～29日, JAXA相模原キャンパス.
  • 市田 有吾, 高橋 岳志，鷹尾 祥典，江利口 浩二，斧 高一: 「マイクロ波励起電熱加速型マイクロプラズマスラスターにおける推進性能測定」, 平成19年度宇宙輸送シンポジウム, 2008年1月28日～29日, JAXA相模原キャンパス.

2007

  • 亀井政幸，江利口浩二，岡田健治，斧　高一 : 「プラズマダメージによるMOSFETの接合特性劣化メカニズム」, 薄膜材料デバイス研究会第4回研究集会, 2007年11月2日～3日, 龍谷大学大宮学舎　清和館, Ⅱb-4.
  • 森　政士，入江祥己，板橋直志，江利口浩二，斧　高一 : 「プラズマエッチング形状進展シミュレーションの現状と展望：Siエッチング」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 7p-ZQ-6.
  • 斧　高一 : 「プラズマおよびその応用プロセスのシミュレーションの現状」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 7p-ZQ-3.
  • 亀井政幸，江利口浩二，岡田健治，斧　高一 : 「容量測定を用いたプラズマダメージによる接合特性劣化の解析」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 8a-ZL-7.
  • 鈴村太郎，斧　高一，江利口浩二 : 「プラズマエッチングにおける微細構造内表面の電荷蓄積の数値解析」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 6a-ZA-15.
  • 福本浩志，江利口浩二，斧　高一 : 「マスクの形状および表面状態がプラズマエッチングに及ぼす影響」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 6a-ZA-4.
  • 入江祥己，江利口浩二，斧　高一 : 「HBr/O2プラズマによる Si エッチングにおける形状進展のモデル解析」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 5a-ZA-10.
  • 斧　高一，江利口浩二，○吉田昌弘，上田義法 : 「反応種と反応生成物の診断によるプラズマエッチング反応解析 (III) FTIRによる反応生成物の診断」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 5a-ZA-9.
  • 上田義法，吉田昌弘，江利口浩二，斧　高一 : 「反応種と反応生成物の診断によるプラズマエッチング反応解析(II)：LIFによる反応種の診断」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 5a-ZA-8.
  • 濱田大輔，仲村恵佑，上田義法，吉田昌弘，江利口浩二，斧　高一 : 「High-k材料HfO2のECRとICP BCl3混合プラズマによるエッチング特性の比較」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 5a-ZA-7.
  • 高橋岳志，鷹尾祥典，江利口浩二，斧　高一 : 「超小型推進機のためのマイクロ波プラズマ源の数値解析と分光診断(2)」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 4a-ZB-7.
  • S. Irie, Y. Osano, M. Mori, K. Eriguchi and K. Ono: "Atomic-scale model for feature profile evolution during chlorine- and bromine-containing plasma etching of Si", 第20回プラズマ材料科学シンポジウム (SPSM-20), 2007年6月21日～22日, 名古屋大学, 22P-11. p. 93.
  • D. Hamada, K. Nakamura, K. Eriguchi and K. Ono: "Etching of High-k Dielectric HfO2 films in BCl3-Containing Plasmas without RF Biasing", 第20回プラズマ材料科学シンポジウム (SPSM-20), 2007年6月21日～22日, 名古屋大学, 22P-10. p. 92.
  • 濱田大輔，仲村恵右，江利口浩二，斧高一: 「ECRプラズマによるhigh-kゲート絶縁膜材料のエッチング特性(5) (Etching characteristics of high-k gate dielectric using ECR plasmas (5))」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 27a-H-9. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 207.
  • 吉田昌弘，上田義法，江利口浩二，斧高一: 「反応種と反応生成物の診断によるプラズマエッチング反応解析 (Analysis of Plasma-Surface Interactions during Etching by In-situ Diagnostics of Reactants and Reaction Products)」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 27a-H-6. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 206.
  • 高橋岳志，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一: 「超小型推進機のためのマイクロ波プラズマ源の数値解析と分光診断 (Numerical Analysis and Optical Diagnostics of Microwave-Excited Plasma Source for Microthrusters)」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 29p-G-3. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 162.
  • 鈴村太郎，江利口浩二，斧高一: 「容量結合型プラズマの二次元PIC/MC法による数値解析 (Numerical analysis of capacitively-coupled plasma with two-dimensional PIC/MC method)」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 30p-G-1. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 170.
  • 入江祥己，森政士，江利口浩二，板橋直志，斧高一: 「臭素系プラズマによるSiエッチングにおける パターン表面でのイオン散乱のモデル解析 (Model analysis of ion reflection on feature surfaces and its effect on profile evolution during Si etching in bromine-containing plasmas)」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 27a-H-8. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 206.
  • 福本 浩志, 江利口 浩二, 斧 高一: 「微細構造内の反応性粒子の挙動とエッチング形状の解析 (Analysis of the Behavior of Reactive Particles in Micrsotructures and the Etching Feature Profile)」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 27p-H-3. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 208.
  • 福本 浩志, 江利口 浩二, 斧 高一: 「ホールおよびトレンチ構造のエッチング形状シミュレーション」, 第24回プラズマプロセシング研究会 (SPP-24), 2007年1月29日～31日, 大阪府豊中市 千里ライフサイエンスセンター, B7-05. Proceedings of the 24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24), 2007, pp. 401-402.
  • 濱田 大輔, 長利 一心，仲村 恵佑, 江利口 浩二, 斧 高一: 「BCl3系プラズマを用いた高誘電率絶縁膜材料HfO2のエッチング特性」, 第24回プラズマプロセシング研究会 (SPP-24), 2007年1月29日～31日, 大阪府豊中市 千里ライフサイエンスセンター, B6-02. Proceedings of the 24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24), 2007, pp. 375-376.
  • 高橋 岳志, 鷹尾 祥典, 斧 高一, 江利口 浩二: 「超小型推進機のためのマイクロ波プラズマ源の数値解析とプラズマ診断」, 第24回プラズマプロセシング研究会 (SPP-24), 2007年1月29日～31日, 大阪府豊中市 千里ライフサイエンスセンター, A4-03. Proceedings of the 24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24), 2007, pp. 333-334.
  • 入江 祥己, 小佐野 祐吾, 森 政士, 江利口 浩二, 斧 高一: 「プラズマエッチングにおける表面でのイオン散乱を含んだ形状進展モデル」, 第24回プラズマプロセシング研究会 (SPP-24), 2007年1月29日～31日, 大阪府豊中市 千里ライフサイエンスセンター, P1-50. Proceedings of the 24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24), 2007, pp. 135-136.
  • 高橋岳志，鷹尾祥典，斧高一，江利口浩二: 「マイクロ波励起プラズマ源を用いた超小型電熱加速型スラスタの推力測定とプラズマ診断」, 平成18年度宇宙輸送シンポジウム, 2007年1月18日～19日, JAXA相模原キャンパス.
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