Member:Nakazaki
京大推進研
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+ | *所属学会:[http://www.jsap.or.jp/ 応用物理学会 (JSAP)] | ||
+ | *研究室内役職:OA委員、学会係 | ||
+ | *学生実験TA | ||
− | == | + | == 研究 / Research == |
分子動力学(Molecular Dynamics: MD)法を用いたプラズマエッチング時の表面反応のシミュレーションを行っています。 | 分子動力学(Molecular Dynamics: MD)法を用いたプラズマエッチング時の表面反応のシミュレーションを行っています。 | ||
− | * | + | === 学歴 / Education === |
− | * | + | *2011年3月 京都大学 工学部 物理工学科 宇宙基礎工学コース 卒業 |
− | * | + | *2011年4月 京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学(修士課程) |
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+ | === 職歴 / Career === | ||
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+ | === キーワード / Key words === | ||
+ | *Molecular dynamics (MD) | ||
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+ | === お知らせ / What's New === | ||
+ | *'''2012/11/16''' [http://www.dry-process.org/2012/index.html/ DPS 2012] にてポスター発表を行いました | ||
+ | *'''2012/10/30''' [http://www2.avs.org/symposium/AVS59/pages/info.html/ AVS 2012] にて口頭発表を行いました | ||
+ | *'''2012/10/24''' [http://www.gec.org/gec2012/ GEC 2012] にて口頭発表を行いました | ||
+ | *'''2012/10/02''' [http://www.gec.org/gec2012/ APCPST-SPSM 2012] にてポスター発表を行いました | ||
+ | *'''2012/09/13''' [http://www.gakkai-web.net/gakkai/jsap/pro/index.html 第73回秋季 応用物理学会学術講演会] にて口頭発表を行いました | ||
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+ | *2012/11/26 更新 | ||
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+ | == 投稿論文 / Journal articles == | ||
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− | + | '''学部卒業研究''' (2010年度, 2011年3月) | |
+ | :「分子動力学法を用いた Si エッチング表面反応解析:Cl, Br, HBr ビームエッチングにおけるイオン入射角度依存性及び入射エネルギー依存性」 | ||
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2012年11月26日 (月) 15:29時点における版
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中崎 暢也 (Nobuya Nakazaki)
- 修士課程2年
- メール:nakazaki.nobuya.58x
st.kyoto-u.ac.jp
- 所属学会:応用物理学会 (JSAP)
- 研究室内役職:OA委員、学会係
- 学生実験TA
研究 / Research
分子動力学(Molecular Dynamics: MD)法を用いたプラズマエッチング時の表面反応のシミュレーションを行っています。
学歴 / Education
- 2011年3月 京都大学 工学部 物理工学科 宇宙基礎工学コース 卒業
- 2011年4月 京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学(修士課程)
職歴 / Career
キーワード / Key words
- Molecular dynamics (MD)
お知らせ / What's New
- 2012/11/16 DPS 2012 にてポスター発表を行いました
- 2012/10/30 AVS 2012 にて口頭発表を行いました
- 2012/10/24 GEC 2012 にて口頭発表を行いました
- 2012/10/02 APCPST-SPSM 2012 にてポスター発表を行いました
- 2012/09/13 第73回秋季 応用物理学会学術講演会 にて口頭発表を行いました
- 2012/11/26 更新
投稿論文 / Journal articles
受賞 / Award
招待講演 / Invited talks
国際学会 / International conferences
2012
2011
国内学会 / Domestic conferences
2012
2011
セミナー, 研究会 / Seminars, Workshops
学位論文題目
学部卒業研究 (2010年度, 2011年3月)
- 「分子動力学法を用いた Si エッチング表面反応解析:Cl, Br, HBr ビームエッチングにおけるイオン入射角度依存性及び入射エネルギー依存性」