Member:Eriguchi
京大推進研
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: 宇宙工学、プロセス工学の中心である”プラズマ"の応用に主眼を置き、プラズマと固体表面・界面との反応機構の理解を目的とした研究を行っています。プラズマ物理、表面反応物理、薄膜固体物理を基礎とし、特に、プラズマ中の原子分子、電子、イオンと、シリコンデバイスに代表される機能素子との相互作用過程の解明を通して、プラズマの工学的応用を探求しています。 | : 宇宙工学、プロセス工学の中心である”プラズマ"の応用に主眼を置き、プラズマと固体表面・界面との反応機構の理解を目的とした研究を行っています。プラズマ物理、表面反応物理、薄膜固体物理を基礎とし、特に、プラズマ中の原子分子、電子、イオンと、シリコンデバイスに代表される機能素子との相互作用過程の解明を通して、プラズマの工学的応用を探求しています。 | ||
| + | ; 主な学会・委員会活動 | ||
| + | : 2003 AVS (American Vacuum Society) Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage (P2ID), Conference Chair | ||
| + | : 2004-2005 IEEE International Electron Device Meeting (IEDM), CMOS and Interconnect Reliability subcommittee member | ||
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2014年7月3日 (木) 18:51時点における版
江利口浩二 / Koji Eriguchi
- 工学研究科 航空宇宙工学専攻 航空宇宙基礎工学講座（准教授）
- 2005年7月着任
- 桂キャンパス (Cクラスター)
- C3棟 b3S17室
- 宇治キャンパス
- 工学研究科 超空気力学実験室
- TEL
- 075-383-3787(桂)・0774-38-3966(宇治)
- FAX
- 0774-31-8811(宇治)
- 電子メール
- eriguchi.koji.8e
kyoto-u.ac.jp
- 研究テーマ
- 宇宙工学、プロセス工学の中心である”プラズマ"の応用に主眼を置き、プラズマと固体表面・界面との反応機構の理解を目的とした研究を行っています。プラズマ物理、表面反応物理、薄膜固体物理を基礎とし、特に、プラズマ中の原子分子、電子、イオンと、シリコンデバイスに代表される機能素子との相互作用過程の解明を通して、プラズマの工学的応用を探求しています。
- 主な学会・委員会活動
- 2003 AVS (American Vacuum Society) Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage (P2ID), Conference Chair
- 2004-2005 IEEE International Electron Device Meeting (IEDM), CMOS and Interconnect Reliability subcommittee member
