中崎 暢也 (Nobuya Nakazaki)

• 修士課程2年
• メール：nakazaki.nobuya.58xst.kyoto-u.ac.jp
• 所属学会：応用物理学会 (JSAP)
• 研究室内役職：OA委員、学会係
• 学生実験TA

研究 / Research

分子動力学（Molecular Dynamics: MD）法を用いたプラズマエッチング時の表面反応のシミュレーションを行っています。

学歴 / Education

• 2011年3月　京都大学 工学部 物理工学科 宇宙基礎工学コース　卒業
• 2011年4月　京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学（修士課程）

キーワード / Key words

• Molecular dynamics (MD)

お知らせ / What's New

• 2012/11/16　DPS 2012 にてポスター発表を行いました
• 2012/10/30　AVS 2012 にて口頭発表を行いました
• 2012/10/24　GEC 2012 にて口頭発表を行いました
• 2012/10/02　APCPST-SPSM 2012 にてポスター発表を行いました
• 2012/09/13　第73回秋季 応用物理学会学術講演会 にて口頭発表を行いました

• 2012/11/26 更新

学位論文題目

学部卒業研究　(2010年度, 2011年3月)

「分子動力学法を用いた Si エッチング表面反応解析：Cl, Br, HBr ビームエッチングにおけるイオン入射角度依存性及び入射エネルギー依存性」

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