修士論文題目一覧

2010年度（2011年3月）

北西　駿典

強誘電体材料を用いた静電加速型マイクロプラズマスラスタの基礎特性評価

谷口　健

塩素･臭素プラズマによる Si エッチングの古典的分子動力学シミュレーション: ビーム入射からビーム＋ラジカル入射まで

西村　顕吉

プラズマスパッタリングを用いたシリコンナノワイヤの合成

宮田　浩貴

フーリエ変換赤外吸収分光法を用いた Cl₂ プラズマによる Si エッチングの気相および表面反応解析

2009年度（2010年3月）

鯨岡　絵理 (Eri Kujiraoka)

Atomic-Scale Cellular Model for Plasma-Surface Interactions and Feature Profile Evolution during Silicon Etching in Bromine-Containing Plasmas
(臭素系プラズマによるSiエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用と加工形状進展に関する原子スケールセルモデル)

三枝　琢己 (Takumi Saegusa)

Analysis of Heat Conduction in Silicon Nanowires by Molecular Dynamics Simulation
(分子動力学シミュレーションを用いたシリコンナノワイヤの熱輸送過程の解析)

津田　博隆 (Hirotaka Tsuda)

Atomic-Scale Analysis of Plasma-Surface Interactions and Feature Profile Evolution during Si Etching in Halogen-Based Plasmas by Monte Carlo and Molecular Dynamics Approaches
(ハロゲン系プラズマを用いたSiエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用と加工形状進展：モンテカルロ法および分子動力法による原子スケールの数値解析)

長岡　達弥 (Tatsuya Nagaoka)

Molecular Dynamics Simulation of Si Etching in Chlorine- and Bromine-Based Plasmas
(塩素・臭素系プラズマによるSiエッチングに関する分子動力学シミュレーション)

松田　朝彦 (Asahiko Matsuda)

Optical Modeling of Si Surface and Interface Structures Damaged by Inductively Coupled Plasma
(誘導結合型プラズマによるSi表面・界面ダメージ層の光学モデリング)

2008年度（2009年3月）

市田　有吾 (Yugo Ichida)

Experimental Analysis of Thrust Performance with Different Propellants in Microwave-Excited Microplasma Thruster
(種々の推進剤を用いたマイクロ波励起マイクロプラズマスラスタにおける推進性能の実験解析)

上田　義法 (Yoshinori Ueda)

Etching Characteristics of High-k Dielectric HfO₂ Films and Gas-Phase Diagnostics in BCl₃-Containing Plasmas
(BCl₃混合プラズマによる高誘電率HfO₂薄膜のエッチング特性とその気相診断)

清上　博章 (Hiroaki Kiyokami)

Etching of Metal Gate and High-k Dielectric Materials in Chlorine-Containing Plasmas
(塩素系プラズマを用いたメタル電極材料と高誘電率絶縁膜材料のエッチング特性)

中久保　義則 (Yoshinori Nakakubo)

Optical and Electrical Analysis of Si Surface and Interface Structures Damaged by Inductively Coupled Plasma
(誘導結合型プラズマによるSi基板表面・界面ダメージ層の光学的・電気的解析)

吉田　昌弘 (Masahiro Yoshida)

Fourier Transform Infrared Spectroscopy of Si Etching in Inductively Coupled Chlorine-Containing Plasmas
(フーリエ変換赤外吸収分光法を用いた誘導結合型プラズマによるSiエッチングに関する研究)

2007年度（2008年3月）

濱田　大輔

電子サイクロトロン共鳴BCl₃混合プラズマによる高誘電率絶縁膜材料HfO₂のエッチング特性とエッチングメカニズムの解明

髙橋　岳志

マイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの数値解析と分光診断

鈴村　太郎

容量結合型高周波プラズマとプラズマエッチングにおける微細構造内表面の電荷蓄積の粒子シミュレーション

入江　祥己

プラズマ・固体表面相互作用の原子スケールモデルと臭素系プラズマによるシリコンエッチングにおける形状進展の数値解析

2006年度（2007年3月）

木瀬　功貴

誘導結合プラズマの2次元流体モデルによるシミュレーション

加藤　貴也

超小型誘導結合プラズマ源の粒子シミュレーション

2005年度（2006年3月）

鮑　昌成

誘導結合プラズマ源を用いたマイクロイオンスラスタのコイル形状に依る性能解析

福本　浩志

コンタクトホール内における反応性イオンの挙動とエッチング形状進展のモデル化

濵谷　典史

微粒子プラズマにおける強制振動を用いたクーロン結晶の振動特性の解析

長利　一心

電子サイクロトロン共鳴塩素系混合プラズマによる高誘電率絶縁膜材料のエッチング特性

2004年度（2005年3月）

草場　尚喜

超小型誘導結合プラズマ源を用いたマイクロイオン推進機の粒子シミュレーションによる性能解析

北川　智洋

電子サイクロトロン共鳴プラズマによる高誘電率絶縁膜およびメタル電極材料の加工特性

2003年度（2004年3月）

山本　紘史

ヘリコン波励起高密度プラズマ源を用いたイオン推進機の設計と粒子シミュレーションによる性能解析

鷹尾　祥典

超小型推進機のためのマイクロプラズマ源とマイクロノズル流れの解析

杉浦　慎哉

低インダクタンスマルチ内部アンテナを用いた大面積・高密度誘導結合型高周波プラズマ源の数値解析

2002年度（2003年3月）

藤掛　功

誘導結合高周波プラズマエッチングにおける反応種と反応生成物の挙動

佐野　敦

プラズマを用いた微細加工において微細構造内の粒子輸送と表面反応機構が形状進展に与える影響

2001年度（2002年3月）

三木　賢二

プラズマを用いた微細加工における微細構造内の局所電場とその形状進展への影響

野村　徹

容量結合型高周波プラズマの2次元PIC/MC法による数値解析

篠原　将之

誘導結合型高周波プラズマの二次元流体モデルとシミュレーション

2000年度（2001年3月）

藤原　岳生

高周波アルゴンプラズマにおける荷電粒子の挙動のPIC/MC法による数値解析

1998年度（1999年3月）

實生　浩久

非定常自由噴流における円柱の影響についての実験的・数値的研究

河村　達哉

非一様・非粘性気体中を伝播する衝撃波後方の流れの不安定解析