Bachelor theses
京大推進研
（版間での差分）
(→2022年度（2023年3月）) |
|||
| （4人の利用者による、間の9版が非表示） | |||
| 1行： | 1行： | ||
[[file:hat.png|120px|right]] | [[file:hat.png|120px|right]] | ||
'''学部卒業研究''' | '''学部卒業研究''' | ||
| + | ==2023年度（2024年3月）== | ||
| + | ; [[Member:ikeda|池田 紘輝 / Koki Ikeda]] | ||
| + | : プラズマ曝露によるシリコン窒化膜の表面構造変化に関する研究 | ||
| + | ; [[Member:oguchi|小口 尚輝 / Naoki Oguchi]] | ||
| + | : プラズマ曝露による六方晶窒化ホウ素膜構造変化の光学的及び電気的手法を用いた解析 | ||
| + | ; [[Member:kishimoto|岸本 航一 / Koichi Kishimoto]] | ||
| + | : 高気圧ヘリウムプラズマ中の励起及び脱励起機構に対する低濃度不純物効果の研究 | ||
| + | ; [[Member:noda|野田 裕紀 / Yuki Noda]] | ||
| + | : 時間分解レーザー誘起蛍光法を用いたプラズマ中の過渡的電子シース形成機構に関する研究 | ||
| + | |||
| + | ==2022年度（2023年3月）== | ||
| + | ; [[Member:ishii|石井 嶺 / Ryo Ishii]] | ||
| + | : スパッタ量解析によるイオンプルーム構造のグリッドレイアウト依存性評価 | ||
| + | ; [[Member:kato|加藤 寛大 / Tomohiro Kato]] | ||
| + | : シリコン窒化膜電気特性のマイクロ波照射効果に関する研究 | ||
| + | ; [[Member:Tsujii|辻井 駿佑 / Shunsuke Tsujii]] | ||
| + | : 反応性プラズマ支援成膜法による窒化ホウ素膜の光学・電気特性のウエハ面内分布解析 | ||
| + | |||
| + | ==2021年度（2022年3月）== | ||
| + | ; [[Member:tsuji|辻 壮一郎 / Soichiro Tsuji]] | ||
| + | : アルゴンイオンビーム照射を用いた窒化ホウ素膜のスパッタリング解析 | ||
| + | ; [[Member:takahashi|高橋 良輔 / Ryosuke Takahashi]] | ||
| + | : アンテナ励起型ECRプラズマ源におけるプラズマパラメータ径方向依存に関する研究 | ||
| + | ; [[Member:fujii|藤井 宏次 / Koji Fujii]] | ||
| + | : マイクロ波照射により改質したシリコン窒化膜のプラズマ誘起欠陥形成機構に関する研究 | ||
| + | ; [[Member:matsuokay|松岡 善範 / Yoshinori Matsuoka]] | ||
| + | : 高気圧プラズマでの分解を考慮したヘリウムガス中の低濃度不純物定量化に関する研究 | ||
| + | |||
| + | ==2020年度（2021年3月）== | ||
| + | ; [[Member:sotsuka|曽束 元喜 / Motoki Sotsuka]] | ||
| + | : イオンエンジンのグリッド損耗機構解明を目指したイオン照射実験の照射パラメータ解析 | ||
| + | ; [[Member:takase|高瀬 芳貴 / Yoshiki Takase]] | ||
| + | : マイクロ波照射による窒化ホウ素薄膜の光学的および電気的特性変化に関する研究 | ||
| + | ; [[Member:toyoda|豊田 みなみ / Minami Toyoda]] | ||
| + | : 高気圧ヘリウムプラズマ中に存在する低濃度不純物の定量化と励起ヘリウム原子寿命へ及ぼす効果に関する研究 | ||
| + | ; [[Member:morozumi|両角 潤樹 / Junki Morozumi]] | ||
| + | : フローティング高調波プローブ法を用いた窒素放電のプラズマパラメータ計測に関する研究 | ||
==2019年度（2020年3月）== | ==2019年度（2020年3月）== | ||
| 6行： | 43行： | ||
; [[Member:asamoto|朝本 雄也 / Yuya Asamoto]] | ; [[Member:asamoto|朝本 雄也 / Yuya Asamoto]] | ||
: 反応性プラズマ支援成膜法により作製した窒化ホウ素膜の構造評価 | : 反応性プラズマ支援成膜法により作製した窒化ホウ素膜の構造評価 | ||
| − | ; [[Member:kito|鬼頭 聖弥 / Seiya | + | ; [[Member:kito|鬼頭 聖弥 / Seiya Kito]] |
: レーザー誘起蛍光法によるアルゴンイオン速度分布関数の高速時間分解計測 | : レーザー誘起蛍光法によるアルゴンイオン速度分布関数の高速時間分解計測 | ||
; [[Member:tsusaka|津坂 裕己 / Hiroki Tsusaka]] | ; [[Member:tsusaka|津坂 裕己 / Hiroki Tsusaka]] | ||
2024年4月3日 (水) 17:15時点における最新版
学部卒業研究
2023年度（2024年3月）
- 池田 紘輝 / Koki Ikeda
- プラズマ曝露によるシリコン窒化膜の表面構造変化に関する研究
- 小口 尚輝 / Naoki Oguchi
- プラズマ曝露による六方晶窒化ホウ素膜構造変化の光学的及び電気的手法を用いた解析
- 岸本 航一 / Koichi Kishimoto
- 高気圧ヘリウムプラズマ中の励起及び脱励起機構に対する低濃度不純物効果の研究
- 野田 裕紀 / Yuki Noda
- 時間分解レーザー誘起蛍光法を用いたプラズマ中の過渡的電子シース形成機構に関する研究
2022年度（2023年3月）
- 石井 嶺 / Ryo Ishii
- スパッタ量解析によるイオンプルーム構造のグリッドレイアウト依存性評価
- 加藤 寛大 / Tomohiro Kato
- シリコン窒化膜電気特性のマイクロ波照射効果に関する研究
- 辻井 駿佑 / Shunsuke Tsujii
- 反応性プラズマ支援成膜法による窒化ホウ素膜の光学・電気特性のウエハ面内分布解析
2021年度（2022年3月）
- 辻 壮一郎 / Soichiro Tsuji
- アルゴンイオンビーム照射を用いた窒化ホウ素膜のスパッタリング解析
- 高橋 良輔 / Ryosuke Takahashi
- アンテナ励起型ECRプラズマ源におけるプラズマパラメータ径方向依存に関する研究
- 藤井 宏次 / Koji Fujii
- マイクロ波照射により改質したシリコン窒化膜のプラズマ誘起欠陥形成機構に関する研究
- 松岡 善範 / Yoshinori Matsuoka
- 高気圧プラズマでの分解を考慮したヘリウムガス中の低濃度不純物定量化に関する研究
2020年度（2021年3月）
- 曽束 元喜 / Motoki Sotsuka
- イオンエンジンのグリッド損耗機構解明を目指したイオン照射実験の照射パラメータ解析
- 高瀬 芳貴 / Yoshiki Takase
- マイクロ波照射による窒化ホウ素薄膜の光学的および電気的特性変化に関する研究
- 豊田 みなみ / Minami Toyoda
- 高気圧ヘリウムプラズマ中に存在する低濃度不純物の定量化と励起ヘリウム原子寿命へ及ぼす効果に関する研究
- 両角 潤樹 / Junki Morozumi
- フローティング高調波プローブ法を用いた窒素放電のプラズマパラメータ計測に関する研究
2019年度（2020年3月）
- 朝本 雄也 / Yuya Asamoto
- 反応性プラズマ支援成膜法により作製した窒化ホウ素膜の構造評価
- 鬼頭 聖弥 / Seiya Kito
- レーザー誘起蛍光法によるアルゴンイオン速度分布関数の高速時間分解計測
- 津坂 裕己 / Hiroki Tsusaka
- 真空環境下におけるシリコン基板表面状態変化の光変調反射率分光法を用いた研究
2018年度（2019年3月）
- 住吉 宏太 (Kota Sumiyoshi)
- シリコン窒化膜表面に形成される欠陥層厚さのイオン照射量依存性に関する研究
- 武原 直人 (Naoto Takehara)
- 原子固溶による窒化ホウ素膜物性変化の第一原理計算を用いた解析
- 平田 大 (Masaru Hirata)
- 分子動力学法を用いた希ガス原子照射による金属表面構造変化に関する研究
- 武藤 光矢 (Mitsuya Muto)
- 電気推進機におけるイオン加速グリッド損耗の評価手法に関する研究
2017年度（2018年3月）
- 木崎 涼介 (Ryosuke Kizaki)
- プラズマ曝露によるシリコン基板ナノ表面の硬さ変化に関する研究
- 住平 透 (Toru Sumihira)
- プラズマ曝露による二酸化シリコン絶縁膜の機械特性変化に関する研究
- 濱野 誉 (Takashi Hamano)
- プラズマ曝露下におけるシリコン基板表面構造の入射イオン量依存性に関する研究
2016年度（2017年3月）
- 久山 智弘
- プラズマ曝露がシリコン窒化膜の電気伝導特性に与える影響
- 清水 裕介
- プラズマ曝露下におけるモリブデン表面腐食過程に関する研究
- 田畑 邦佳
- 表面構造解析による窒化ホウ素膜のプラズマ耐性に関する研究
2015年度（2016年3月）
- 今村 建太
- 発光分光計測によるマイクロECRプラズマスラスタの電子密度評価
- 篠原 健吾
- プラズマ曝露が二酸化シリコン薄膜の電気伝導特性へ与える影響
- 樋口 智哉
- 単結晶シリコン基板におけるプラズマ誘起ダメージ構造の光学的解析
2014年度(2015年3月)
- 岡 優介 (Yusuke Oka)
- ECRプラズマ源を用いた小型推進機の数値解析
- 岡田 行正 (Yukimasa Okada)
- プラズマ暴露されたSi基板表面での物理的ダメージ層の分析
- 中村 紀彦 (Norihiko Nakamura)
- DSMC法を用いた二成分混合気体の超音速自由噴流におけるクラスター形成シミュレーション
2013年度(2014年3月)
- 小畠 拓也 (Takuya Kobatake)
- 誘電体バリア放電プラズマアクチュエータにおける誘起流れの光学的診断と解析
- 松本 悠 (Haruka Matsumoto)
- プラズマエッチングにおける表面ラフネス形成に関する実験的研究
2012年度(2013年3月)
- 大金 修平 (Shuhei Ogane)
- 超小型高周波放電式イオンスラスタのための等価回路モデルによる誘導結合プラズマ源の数値解析
- 出口 雅則 (Masanori Deguchi)
- 誘電体プラズマアクチュエータ－による流れ誘起のシミュレーション
- 初瀬 巧 (Takumi Hatsuse)
- 3次元原子スケールセルモデルを用いたCl2/O2プラズマによるSiエッチングの形状進展シミュレーション
2011年度(2012年3月)
- 平野 裕太郎 (Yutaro Hirano)
- プラズマスパッタリングによるシリコンナノワイヤ形成機構
- 森 大輔 (Daisuke Mori)
- Xバンドマイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの発光分光解析
2010年度（2011年3月）
- 中崎 暢也 (Nobuya Nakazaki)
- 分子動力学法を用いたSiエッチング表面反応解析: Cl, Br, HBr ビームエッチングにおけるイオン入射角度依存性
- 福島 大介 (Daisuke Fukushima)
- フーリエ変換赤外吸収分光法を用いた Cl2 プラズマによる Si エッチングの反応解析: Si(100) と Si(111) 表面の比較
- 横江 公貴 (Kimitaka Yokoe)
- 直接シミュレーションモンテカルロ法による超音速自由噴流の流れ場の解析
2009年度（2010年3月）
2008年度（2009年3月）
- 荻野 力
- 分光エリプソメトリー解析を用いたDCプラズマによるSi表面ダメージ層の形成機構に関する研究
- 北西 駿典
- ICCDを用いた発光分光法によるマイクロプラズマのガス温度と電子密度の測定
- 谷口 健
- 量子化学計算による古典的原子間ポテンシャルモデルの構築：Si/I系ポテンシャル
- 宮田 浩貴
- Cl2プラズマによるSiエッチングにおける赤外吸収分光法を用いた気相・表面の反応解析
- 西村 顕吉
- プラズマスパッタリングによるシリコンナノワイヤの形成に関する研究
2007年度（2008年3月）
- 岩川 輝
- 臭化水素プラズマによるシリコンエッチングの分子動力学法によるシミュレーション研究
- 津田 博隆
- グローバルモデルによる塩素／酸素混合プラズマの解析とシリコンエッチング形状シミュレーション
- 松田 朝彦
- 分光エリプソメトリーによるプラズマ暴露シリコン表面の診断に関する研究
- 山口 敏和
- 塩素系プラズマエッチングにおけるマイクロ波干渉法と四重極質量分析法によるプラズマ診断
2006年度（2007年3月）
- 吉田 昌弘
- フーリエ変換赤外吸収分光法を用いたプラズマ気相・表面解析
- 大野 章
- フォトリフレクタンス分光法による固体の表面診断に関する研究
- 上田 義法
- 発光分光法・レーザー誘起蛍光法によるプラズマ診断
2005年度（2006年3月）
- 濱田 大輔
- ECRプラズマによるメタル電極材料のエッチング特性
- 高橋 岳志
- 超小型推進機のための表面波励起プラズマ源の数値解析
- 鈴村 太郎
- プラズマエッチングにおける微細構造内表面の電荷蓄積の数値シミュレーション
- 入江 祥己
- プラズマエッチングにおける微細形状進展の数値シミュレーションと微視的均一性
2004年度（2005年3月）
- 中井 達也
- プラズマエッチングにおける微細構造内での反応機構の解析と形状シミュレーション
- 木瀬 功貴
- 誘導結合プラズマの流体シミュレーションによる特性解析
- 加藤 貴也
- 電子サイクロトロン共鳴プラズマ源における磁場形状の数値解析と装置設計
2003年度（2004年3月）
- 中村 浩樹
- マルチ内部アンテナ型大面積・高密度誘導結合プラズマ源のプラズマ密度分布に関する研究
- 濵谷 典史
- 発光分光法を用いた微粒子プラズマの解析
- 井上 幸二
- 軸対称表面波励起プラズマ源の二次元流体モデルによる数値解析
2002年度（2003年3月）
- 北川 智洋
- 高誘電率ゲート絶縁膜材料の誘導結合型プラズマによるエッチング特性
- 中田 大将
- 静電プローブと磁気プローブによる軸対称マイクロ波励起表面波プラズマの診断
- 草場 尚喜
- アルゴンプラズマのノズル流れに関する数値的研究
2001年度（2002年3月）
- 三田村 崇司
- プラズマＣＤＶ法による低誘電率多孔質薄膜の形成とＸ線反射計測を用いた膜構造評価
- 小澤 宇志
- 三次元ノズル内のアルゴンプラズマ流に関する数値的研究
- 岩下 久人
- 超音速フリージェットにおける流れ場とＡｒクラスター形成に関する研究
- 山本 紘史
- ヘリコン波励起プラズマを用いた電気推進に関する研究
- 山岸 亨
- ミリメートルサイズの小型マイクロ波励起プラズマ源の研究
2000年度（2001年3月）
- 佐野 敦
- プラズマと接触した固体表面の微細構造内での粒子輸送と加工形状に関する研究 ―壁面での粒子の反射位置を積分変数として含む解析ー
- 丸 祐介
- 静電プローブ診断法を用いた軸対称表面波励起マイクロ波プラズマのパルスプラズマ特性に関する研究
- 藤掛 功
- パルスプラズマにおける活性種の反応過程に関する研究
- 小柳 容子
- プラズマと接触した固体表面の微細構造内での粒子輸送と加工形状に関する研究 ―壁面への粒子の入射角を積分変数とした解析ー
1999年度（2000年3月）
- 土井 祐介
- プラズマと接触した固体表面上のイオンシース構造とその形成過程の数値解析
- 篠原 将之
- 誘導結合高周波プラズマ源におけるプラズマ電流誘起過程のモデル解析と装置設計
- 三木 賢二
- 分布多極磁場を有するマイクロ波励起プラズマ源における荷電粒子軌道の数値解析と装置設計
- 野村 徹
- 非平衡アルゴン－酸素混合プラズマにおける活性種の反応過程のモデル計算