Member:Goya
京大推進研
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#'''郷矢崇浩'''(M2)，久山智弘，占部継一郎，江利口浩二 「シリコン窒化膜のプラズマ曝露による機械特性変化評価手法の提案」，[https://meeting.jsap.or.jp/jsap2021a/ 第82回応用物理学会秋季学術講演会]，2021年9月10日～13日，オンライン開催，12a-N102-6. | #'''郷矢崇浩'''(M2)，久山智弘，占部継一郎，江利口浩二 「シリコン窒化膜のプラズマ曝露による機械特性変化評価手法の提案」，[https://meeting.jsap.or.jp/jsap2021a/ 第82回応用物理学会秋季学術講演会]，2021年9月10日～13日，オンライン開催，12a-N102-6. | ||
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| + | #'''Takahiro Goya'''(M2), Tomohiro Kuyama, Keiichiro Urabe, and Koji Eriguch: "A nanoindentation-based statistical evaluation scheme for mechanical property change in plasma-irradiated dielectric films" [http://www.dry-process.org/2021/index.html/ DSP2021], November 18-19, 2021, On-line, G-3 | ||
2021年11月25日 (木) 07:26時点における版
郷矢 崇浩 (Takahiro Goya)
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- 修士2年
- メール : goya.takahiro.78m
st.kyoto-u.ac.jp
- 所属学会 : 応用物理学会 (The Japan Society of Applied Physics: JSAP)
- 研究室内役職 : 安全，学会，総務 係
研究概要 / Study
- プラズマダメージによる絶縁膜の機械特性変化メカニズムの解明
学歴 / Education
- 2016年4月 大阪府立大学 工学域 機械系学類 入学
- 2020年3月 大阪府立大学 工学域 機械系学類 航空宇宙工学課程 卒業
- 2020年4月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学
国内学会 / Domestic conferences
- 郷矢崇浩(M2)，久山智弘，占部継一郎，江利口浩二 「シリコン窒化膜のプラズマ曝露による機械特性変化評価手法の提案」，第82回応用物理学会秋季学術講演会，2021年9月10日～13日，オンライン開催，12a-N102-6.
国際学会 / International conference
- Takahiro Goya(M2), Tomohiro Kuyama, Keiichiro Urabe, and Koji Eriguch: "A nanoindentation-based statistical evaluation scheme for mechanical property change in plasma-irradiated dielectric films" DSP2021, November 18-19, 2021, On-line, G-3