Member:Goya
京大推進研
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#'''Takahiro Goya'''(M2), Tomohiro Kuyama, Keiichiro Urabe, and Koji Eriguch: "A nanoindentation-based statistical evaluation scheme for mechanical property change in plasma-irradiated dielectric films" [http://www.dry-process.org/2021/index.html/ 42nd International Symposium on Dry Process: DPS2021], November 18-19, 2021, On-line, [Oral] | #'''Takahiro Goya'''(M2), Tomohiro Kuyama, Keiichiro Urabe, and Koji Eriguch: "A nanoindentation-based statistical evaluation scheme for mechanical property change in plasma-irradiated dielectric films" [http://www.dry-process.org/2021/index.html/ 42nd International Symposium on Dry Process: DPS2021], November 18-19, 2021, On-line, [Oral] | ||
2022年11月17日 (木) 02:07時点における版
郷矢 崇浩 (Takahiro Goya)
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- 博士課程1年
- 所属学会 : 応用物理学会 (The Japan Society of Applied Physics: JSAP)
- 研究室内役職 : 安全，学会，総務 係
研究概要 / Study
- プラズマダメージによる絶縁膜の機械特性変化メカニズムの解明
学歴 / Education
- 2016年4月 大阪府立大学 工学域 機械系学類 入学
- 2020年3月 大阪府立大学 工学域 機械系学類 航空宇宙工学課程 卒業
- 2020年4月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 修士課程 入学
- 2022年3月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 修士課程 修了
- 2022年4月 京都大学 工学研究科 航空宇宙工学専攻 博士課程 入学
国際学会 / International conference
- T. Goya(D1), Y. Kodama, A. Kawashima, Y. Zaizen, M. Fukasawa, K. Urabe, and K. Eriguchi: "Quantitative Characterization of Plasma-Induced Defect Creation in InP Substrates Using Conductance Analysis", AVS 68th International Symposium & Exhibition, November 6-11, 2022, David L. Lawrence Convention Center, Pittsburgh, PA, PS2+TF-WeM-4.
- Takahiro Goya(M2), Tomohiro Kuyama, Keiichiro Urabe, and Koji Eriguch: "A nanoindentation-based statistical evaluation scheme for mechanical property change in plasma-irradiated dielectric films" 42nd International Symposium on Dry Process: DPS2021, November 18-19, 2021, On-line, [Oral]
国内学会 / Domestic conferences
- 郷矢崇浩(D1)，占部継一郎，江利口浩二 「プラズマ曝露による欠陥構造がシリコン窒化膜の機械特性変化に及ぼす影響」，第83回応用物理学会秋季学術講演会，2022年9月20日～23日，ハイブリッド開催，22p-A406-2.
- 郷矢崇浩(M2)，久山智弘，占部継一郎，江利口浩二 「シリコン窒化膜に形成されるプラズマダメージの機械特性評価と電気特性評価との相関に関する検討」，第69回応用物理学会春季学術講演会，2022年3月22日～26日，ハイブリッド開催，25a-E104-2.
- 郷矢崇浩(M2)，久山智弘，占部継一郎，江利口浩二 「シリコン窒化膜のプラズマ曝露による機械特性変化評価手法の提案」，第82回応用物理学会秋季学術講演会，2021年9月10日～13日，オンライン開催，12a-N102-6.