News

2023/05/21

笹原(M2), 豊田(M2)が25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25)にてポスター発表を行いました．
→ Publications/International conferences

2023/03/17

濱野(D3)，郷矢(D1)が第70回応用物理学会春季学術講演にて口頭発表を行いました．
→ Publications/Domestic conferences

2023/02/17

濱野(D3)がシリコンテクノロジー分科会第242回研究集会にて招待講演を行いました．
→ Publications/Domestic conferences

2022/11/25

濱野(D3)，郷矢(D1)，両角(M2)が43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)にて研究発表を行いました．
→ Publications/International conferences

2022/11/18

佐藤(社会人D)，占部(助教)，江利口(教授)の論文がJ. Vac. Sci. Technol. B誌(Editor's Pickに選出)に公開されました．
Y. Sato et al., J. Vac. Sci. Technol. B 40, 062209 (2022).　
→ Publications/Journals

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