篠原　健吾(Kengo Shinohara)

• 修士1年
• メール：shinohara.kengo.88v(at)st.kyoto-u.ac.jp

研究概要

• 電気伝導解析による絶縁薄膜のプラズマ誘起欠陥形成過程の研究

学歴

• 2012年4月　京都大学 工学部 物理工学科 入学
• 2016年3月　京都大学 工学部 物理工学科 卒業
• 2016年4月　京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学

国際学会 / International conference

• Kengo Shinohara, Kentaro Nishida, Kouichi Ono, and Koji Eriguchi: "Effects of plasma exposure on leakage and reliability parameters of dielectric film: New measures of damage?", 38th International Symposium on Dry Process: DPS2016, November 21-22, 2016, Conference Hall, Hokkaido University, Sapporo, Hokkaido, Japan. Proc. 38th International Symposium on Dry Process (DPS), 27-28 (2016).

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