篠原 健吾(Kengo Shinohara)

• 修士2年
• メール：shinohara.kengo.88v(at)st.kyoto-u.ac.jp

研究概要

• 電気伝導解析による絶縁薄膜のプラズマ誘起欠陥形成過程の研究

学歴

• 2012年4月　京都大学 工学部 物理工学科 入学
• 2016年3月　京都大学 工学部 物理工学科 卒業
• 2016年4月　京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学

投稿論文 / Journal article

• Kengo Shinohara, Kentaro Nishida, Kouichi Ono and Koji Eriguchi: "Time-dependent dielectric breakdown characterizations of interlayer dielectric damage induced during plasma processing", Japanese Journal of Applied Physics, Volume 56, Number 6S2, 06HD03, May 2017.<doi:10.7567/JJAP.56.06HD03>

国際学会 / International conference

• Kengo Shinohara, Kentaro Nishida, Kouichi Ono, and Koji Eriguchi: "Effects of plasma exposure on leakage and reliability parameters of dielectric film: New measures of damage?", 38th International Symposium on Dry Process: DPS2016, November 21-22, 2016, Conference Hall, Hokkaido University, Sapporo, Hokkaido, Japan. Proc. 38th International Symposium on Dry Process (DPS), 27-28 (2016).

---

在籍者一覧に戻る / Go back to List of Current Members