京大推進研
初瀬巧 (Takumi Hatsuse)
概要
3次元原子スケールセルモデルを用いて、プラズマエッチングの形状進展シミュレーションを行っています。
- メール:hatsuse.takumi.84w@st.kyoto-u.ac.jp
- 研究室内役職:安全・宴会
学歴
- 2008年4月 京都大学 工学部 物理工学科 入学
- 2013年3月 同 卒業
- 2013年4月 京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 入学
趣味
学位論文題目
- 「3次元原子スケールセルモデルを用いたCl2/O2プラズマによるSiエッチングの形状進展シミュレーション」