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;2023/05/21 <span style="color:red"></span>:[[Member:Sasahara|笹原]](M2), [[Member:Toyoda|豊田]](M2)が[https://www.ispc25.com/ 25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25)]にてポスター発表を行いました.
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;2023/05/21 <span style="color:red"></span>:[[Member:Sasahara|笹原]](M2), [[Member:Toyoda|豊田]](M2)が[https://www.ispc25.com/ 25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25)]にてポスター発表を行いました.<br>→ [[Publications/International conferences]]
 
;2023/03/17 <span style="color:red"></span>:[[Member:Hamano|濱野]](D3),[[Member:Goya|郷矢]](D1)が[https://meeting.jsap.or.jp/ 第70回応用物理学会春季学術講演]にて口頭発表を行いました.<br>→ [[Publications/Domestic conferences]]
 
;2023/03/17 <span style="color:red"></span>:[[Member:Hamano|濱野]](D3),[[Member:Goya|郷矢]](D1)が[https://meeting.jsap.or.jp/ 第70回応用物理学会春季学術講演]にて口頭発表を行いました.<br>→ [[Publications/Domestic conferences]]
 
;2023/02/17 <span style="color:red"></span>:[[Member:Hamano|濱野]](D3)が[https://annex.jsap.or.jp/silicon/activity/studyGroup/242 シリコンテクノロジー分科会第242回研究集会]にて招待講演を行いました.<br>→ [[Publications/Domestic conferences]]
 
;2023/02/17 <span style="color:red"></span>:[[Member:Hamano|濱野]](D3)が[https://annex.jsap.or.jp/silicon/activity/studyGroup/242 シリコンテクノロジー分科会第242回研究集会]にて招待講演を行いました.<br>→ [[Publications/Domestic conferences]]

2023年8月3日 (木) 10:21時点における版

News

2023/05/21
笹原(M2), 豊田(M2)が25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25)にてポスター発表を行いました.
Publications/International conferences
2023/03/17
濱野(D3),郷矢(D1)が第70回応用物理学会春季学術講演にて口頭発表を行いました.
Publications/Domestic conferences
2023/02/17
濱野(D3)がシリコンテクノロジー分科会第242回研究集会にて招待講演を行いました.
Publications/Domestic conferences
2022/11/25
濱野(D3),郷矢(D1),両角(M2)が43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022)にて研究発表を行いました.
Publications/International conferences
2022/11/18
佐藤(社会人D),占部(助教),江利口(教授)の論文がJ. Vac. Sci. Technol. B誌(Editor's Pickに選出)に公開されました.
Y. Sato et al., J. Vac. Sci. Technol. B 40, 062209 (2022). 
Publications/Journals



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