Domestic conferences archive

京大推進研

2010年9月27日 (月) 11:51時点におけるMatsuda (トーク | 投稿記録)による版

(差分) ←前の版 | 最新版 (差分) | 次の版→ (差分)

移動：案内, 検索

このページには、古い（3年より前の）国際会議発表履歴を記録します。古い履歴はInternal:サイトガイドラインに基づき、一般には公開しません。

関連ページ: Domestic conferences （最近の履歴）; Internal:International conferences archive

2007

亀井政幸，江利口浩二，岡田健治，斧　高一 : 「プラズマダメージによるMOSFETの接合特性劣化メカニズム」, 薄膜材料デバイス研究会第4回研究集会, 2007年11月2日～3日, 龍谷大学大宮学舎　清和館, Ⅱb-4.
森　政士，入江祥己，板橋直志，江利口浩二，斧　高一 : 「プラズマエッチング形状進展シミュレーションの現状と展望：Siエッチング」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 7p-ZQ-6.
斧　高一 : 「プラズマおよびその応用プロセスのシミュレーションの現状」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 7p-ZQ-3.
亀井政幸，江利口浩二，岡田健治，斧　高一 : 「容量測定を用いたプラズマダメージによる接合特性劣化の解析」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 8a-ZL-7.
鈴村太郎，斧　高一，江利口浩二 : 「プラズマエッチングにおける微細構造内表面の電荷蓄積の数値解析」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 6a-ZA-15.
福本浩志，江利口浩二，斧　高一 : 「マスクの形状および表面状態がプラズマエッチングに及ぼす影響」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 6a-ZA-4.
入江祥己，江利口浩二，斧　高一 : 「HBr/O₂プラズマによる Si エッチングにおける形状進展のモデル解析」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 5a-ZA-10.
斧　高一，江利口浩二，○吉田昌弘，上田義法 : 「反応種と反応生成物の診断によるプラズマエッチング反応解析 (III) FTIRによる反応生成物の診断」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 5a-ZA-9.
上田義法，吉田昌弘，江利口浩二，斧　高一 : 「反応種と反応生成物の診断によるプラズマエッチング反応解析(II)：LIFによる反応種の診断」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 5a-ZA-8.
濱田大輔，仲村恵佑，上田義法，吉田昌弘，江利口浩二，斧　高一 : 「High-k材料HfO₂のECRとICP BCl₃混合プラズマによるエッチング特性の比較」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 5a-ZA-7.
高橋岳志，鷹尾祥典，江利口浩二，斧　高一 : 「超小型推進機のためのマイクロ波プラズマ源の数値解析と分光診断(2)」, 2007年（平成19年）秋季第68回応用物理学会学術講演会, 2007年9月4日～8日, 北海道工業大学, 4a-ZB-7.
S. Irie, Y. Osano, M. Mori, K. Eriguchi and K. Ono: "Atomic-scale model for feature profile evolution during chlorine- and bromine-containing plasma etching of Si", 第20回プラズマ材料科学シンポジウム (SPSM-20), 2007年6月21日～22日, 名古屋大学, 22P-11. p. 93.
D. Hamada, K. Nakamura, K. Eriguchi and K. Ono: "Etching of High-k Dielectric HfO₂ films in BCl₃-Containing Plasmas without RF Biasing", 第20回プラズマ材料科学シンポジウム (SPSM-20), 2007年6月21日～22日, 名古屋大学, 22P-10. p. 92.
濱田大輔，仲村恵右，江利口浩二，斧高一: 「ECRプラズマによるhigh-kゲート絶縁膜材料のエッチング特性(5) (Etching characteristics of high-k gate dielectric using ECR plasmas (5))」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 27a-H-9. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 207.
吉田昌弘，上田義法，江利口浩二，斧高一: 「反応種と反応生成物の診断によるプラズマエッチング反応解析 (Analysis of Plasma-Surface Interactions during Etching by In-situ Diagnostics of Reactants and Reaction Products)」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 27a-H-6. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 206.
高橋岳志，鷹尾祥典，江利口浩二，斧高一: 「超小型推進機のためのマイクロ波プラズマ源の数値解析と分光診断 (Numerical Analysis and Optical Diagnostics of Microwave-Excited Plasma Source for Microthrusters)」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 29p-G-3. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 162.
鈴村太郎，江利口浩二，斧高一: 「容量結合型プラズマの二次元PIC/MC法による数値解析 (Numerical analysis of capacitively-coupled plasma with two-dimensional PIC/MC method)」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 30p-G-1. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 170.
入江祥己，森政士，江利口浩二，板橋直志，斧高一: 「臭素系プラズマによるSiエッチングにおけるパターン表面でのイオン散乱のモデル解析 (Model analysis of ion reflection on feature surfaces and its effect on profile evolution during Si etching in bromine-containing plasmas)」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 27a-H-8. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 206.
福本浩志, 江利口浩二, 斧高一: 「微細構造内の反応性粒子の挙動とエッチング形状の解析 (Analysis of the Behavior of Reactive Particles in Micrsotructures and the Etching Feature Profile)」, 2007年（平成19年）春季第54回応用物理学関係連合講演会, 2007年3月27日～30日, 青山学院大学, 27p-H-3. 第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集第1分冊, 2007, p. 208.
福本浩志, 江利口浩二, 斧高一: 「ホールおよびトレンチ構造のエッチング形状シミュレーション」, 第24回プラズマプロセシング研究会 (SPP-24), 2007年1月29日～31日, 大阪府豊中市千里ライフサイエンスセンター, B7-05. Proceedings of the 24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24), 2007, pp. 401-402.
濱田大輔, 長利一心，仲村恵佑, 江利口浩二, 斧高一: 「BCl₃系プラズマを用いた高誘電率絶縁膜材料HfO₂のエッチング特性」, 第24回プラズマプロセシング研究会 (SPP-24), 2007年1月29日～31日, 大阪府豊中市千里ライフサイエンスセンター, B6-02. Proceedings of the 24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24), 2007, pp. 375-376.
高橋岳志, 鷹尾祥典, 斧高一, 江利口浩二: 「超小型推進機のためのマイクロ波プラズマ源の数値解析とプラズマ診断」, 第24回プラズマプロセシング研究会 (SPP-24), 2007年1月29日～31日, 大阪府豊中市千里ライフサイエンスセンター, A4-03. Proceedings of the 24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24), 2007, pp. 333-334.
入江祥己, 小佐野祐吾, 森政士, 江利口浩二, 斧高一: 「プラズマエッチングにおける表面でのイオン散乱を含んだ形状進展モデル」, 第24回プラズマプロセシング研究会 (SPP-24), 2007年1月29日～31日, 大阪府豊中市千里ライフサイエンスセンター, P1-50. Proceedings of the 24th Symposium on Plasma Processing (SPP-24), 2007, pp. 135-136.
高橋岳志，鷹尾祥典，斧高一，江利口浩二: 「マイクロ波励起プラズマ源を用いた超小型電熱加速型スラスタの推力測定とプラズマ診断」, 平成18年度宇宙輸送シンポジウム, 2007年1月18日～19日, JAXA相模原キャンパス.