Dissertations
京大推進研
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− | ; 高橋 岳志 (Takeshi Takahashi) {{ | + | ; 高橋 岳志 (Takeshi Takahashi) {{KURENAI|http://hdl.handle.net/2433/151975}} |
:Numerical and Experimental Study of Performance Improvement of a Microwave-Excited Microplasma Thruster Designed for Small Spacecraft<br>(小型宇宙機用マイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの性能向上に関する数値的・実験的研究) | :Numerical and Experimental Study of Performance Improvement of a Microwave-Excited Microplasma Thruster Designed for Small Spacecraft<br>(小型宇宙機用マイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの性能向上に関する数値的・実験的研究) | ||
==2008== | ==2008== | ||
− | ; 杉原 浩平 (Kohei Sugihara) {{ | + | ; 杉原 浩平 (Kohei Sugihara) {{KURENAI|http://hdl.handle.net/2433/136367}} |
: エレベイテッドソース・ドレイン技術による微細MOSFETの高性能化に関する研究 | : エレベイテッドソース・ドレイン技術による微細MOSFETの高性能化に関する研究 | ||
− | ; 枝村 学 (Manabu Edamura) {{ | + | ; 枝村 学 (Manabu Edamura) {{KURENAI|http://hdl.handle.net/2433/136366}} |
: 誘導結合型プラズマエッチング装置におけるプラズマ制御の高度化に関する研究 | : 誘導結合型プラズマエッチング装置におけるプラズマ制御の高度化に関する研究 | ||
==2007== | ==2007== | ||
− | ; 鷹尾 祥典 (Yoshinori Takao) {{ | + | ; 鷹尾 祥典 (Yoshinori Takao) {{KURENAI|http://hdl.handle.net/2433/136230}} |
: Development of a Miniature Electrothermal Thruster Using Microwave-Excited Microplasmas for Ultra Small Satellites <br /> (マイクロ波励起マイクロプラズマを用いた超小型人工衛星のための電熱加速型推進機の研究開発) | : Development of a Miniature Electrothermal Thruster Using Microwave-Excited Microplasmas for Ultra Small Satellites <br /> (マイクロ波励起マイクロプラズマを用いた超小型人工衛星のための電熱加速型推進機の研究開発) | ||
==2006== | ==2006== | ||
− | ; 小佐野 祐吾 (Yugo Osano) {{ | + | ; 小佐野 祐吾 (Yugo Osano) {{KURENAI|http://hdl.handle.net/2433/136158}} |
: An Atomic Scale Model of Plasma-Surface Interactions and Numerical Analysis of the Feature Profile Evolution during Silicon Etching in Chlorine-Containing Plasmas<br /> (塩素系プラズマによるシリコンエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用の原子スケールモデルと形状進展の数値解析) | : An Atomic Scale Model of Plasma-Surface Interactions and Numerical Analysis of the Feature Profile Evolution during Silicon Etching in Chlorine-Containing Plasmas<br /> (塩素系プラズマによるシリコンエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用の原子スケールモデルと形状進展の数値解析) | ||
==2004== | ==2004== | ||
− | ; 津田 睦 (Mutsumi Tsuda) {{ | + | ; 津田 睦 (Mutsumi Tsuda) {{KURENAI|http://hdl.handle.net/2433/147670}} |
: A Study of Plasma-Surface Interactions in Plasma Etching with Chlorine- and Bromine-based Chemistries<br /> (塩素および臭素系プラズマエッチングにおけるプラズマと表面との相互作用に関する研究) | : A Study of Plasma-Surface Interactions in Plasma Etching with Chlorine- and Bromine-based Chemistries<br /> (塩素および臭素系プラズマエッチングにおけるプラズマと表面との相互作用に関する研究) | ||
==2003== | ==2003== | ||
− | ; 上坂 裕之 (Hiroyuki Kosaka) {{ | + | ; 上坂 裕之 (Hiroyuki Kosaka) {{KURENAI|http://hdl.handle.net/2433/148529}} |
: Numerical Studies of the Electromagnetic Fields and Plasma Properties in a Microwave Plasma Source Excited by Azimuthally Symmetric Surface Waves<br /> (軸対称表面波励起マイクロ波プラズマ源における電磁界とプラズマ特性に関する数値的研究) | : Numerical Studies of the Electromagnetic Fields and Plasma Properties in a Microwave Plasma Source Excited by Azimuthally Symmetric Surface Waves<br /> (軸対称表面波励起マイクロ波プラズマ源における電磁界とプラズマ特性に関する数値的研究) | ||
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2012年4月4日 (水) 18:34時点における版
博士論文
目次 |
2011
- 高橋 岳志 (Takeshi Takahashi) KURENAI repository
- Numerical and Experimental Study of Performance Improvement of a Microwave-Excited Microplasma Thruster Designed for Small Spacecraft
(小型宇宙機用マイクロ波励起マイクロプラズマスラスタの性能向上に関する数値的・実験的研究)
2008
- 杉原 浩平 (Kohei Sugihara) KURENAI repository
- エレベイテッドソース・ドレイン技術による微細MOSFETの高性能化に関する研究
- 枝村 学 (Manabu Edamura) KURENAI repository
- 誘導結合型プラズマエッチング装置におけるプラズマ制御の高度化に関する研究
2007
- 鷹尾 祥典 (Yoshinori Takao) KURENAI repository
- Development of a Miniature Electrothermal Thruster Using Microwave-Excited Microplasmas for Ultra Small Satellites
(マイクロ波励起マイクロプラズマを用いた超小型人工衛星のための電熱加速型推進機の研究開発)
2006
- 小佐野 祐吾 (Yugo Osano) KURENAI repository
- An Atomic Scale Model of Plasma-Surface Interactions and Numerical Analysis of the Feature Profile Evolution during Silicon Etching in Chlorine-Containing Plasmas
(塩素系プラズマによるシリコンエッチングにおけるプラズマ・表面相互作用の原子スケールモデルと形状進展の数値解析)
2004
- 津田 睦 (Mutsumi Tsuda) KURENAI repository
- A Study of Plasma-Surface Interactions in Plasma Etching with Chlorine- and Bromine-based Chemistries
(塩素および臭素系プラズマエッチングにおけるプラズマと表面との相互作用に関する研究)
2003
- 上坂 裕之 (Hiroyuki Kosaka) KURENAI repository
- Numerical Studies of the Electromagnetic Fields and Plasma Properties in a Microwave Plasma Source Excited by Azimuthally Symmetric Surface Waves
(軸対称表面波励起マイクロ波プラズマ源における電磁界とプラズマ特性に関する数値的研究)